氯硅烷残液在低共熔溶剂中光-磁场辅助电化学液相外延生长晶体硅的机制及调控
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AI项目解读
基本信息
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- 项目类别:面上项目
- 资助金额:54万
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- 批准年份:2022
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2022至
- 项目参与者:张承龙;
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