脉冲CO2激光驱动的EUV光源研究

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    61078024
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    18.0万
  • 负责人：
    陆培祥
  • 依托单位：
    华中科技大学
  • 学科分类：
    F0506.激光
  • 结题年份：
    2011
  • 批准年份：
    2010
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2011-01-01 至2011-12-31

项目摘要

极紫外光刻技术（EUVL）被认为是下一代光刻技术的最主要候选技术，EUV光源是EUVL的关键技术之一。近年来该领域的研究与发展趋势表明采用CO2激光等离子体作为EUV光源已经显示出巨大优势，可能是将来EUVL设备的最佳光源。项目针对EUVL设备需要的高转换效率、窄带宽、低碎屑和长寿命等需求，在国内提出采用脉冲CO2激光驱动Sn等离子体获得高转换效率、低碎屑EUV光源的方案。通过数值模拟与理论分析，深入理解CO2激光驱动等离子体辐射EUV的物理机制，优化实验参数与靶的设计，实现13.5nm处2%带宽高转换效率、高清洁度EUV光源输出。项目的开展将有助于我国在EUVL研究领域取得自主知识产权的成果并赶上国际同期水平。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（2）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Lifetime Calculations on Collector Optics from Laser Plasma Extreme Ultraviolet Sources with Minimum Mass
最小质量激光等离子体极紫外光源收集器光学器件的寿命计算
  • DOI：
    10.1088/0256-307x/28/5/055201
  • 发表时间：
    2011-05
  • 期刊：
    Chinese Physis Letters
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    吴涛;王新兵
  • 通讯作者：
    王新兵
CO2激光锡等离子体极紫外及可见光光谱研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    吴涛;杨晨光;饶志明;卢宏;唐建;王新兵;王少义
  • 通讯作者：
    王少义

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其他文献

氧压对飞秒激光沉积ZnO/Si(100)薄膜光学性能的影响
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  • 通讯作者：
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  • 期刊：
    物理学报
  • 影响因子：
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  • 作者：
    吴涛;左都罗;陆培祥;王新兵
  • 通讯作者：
    王新兵
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  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    中国激光
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    戴能利;郑启光;龙华;陆培祥;杨义发;杨光
  • 通讯作者：
    杨光
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  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    功能材料
  • 影响因子：
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  • 作者：
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  • 通讯作者：
    朱伯铨
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  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    高等学校化学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    蒋鲁杰;王英;张继皇;戴能利;陆培祥
  • 通讯作者：
    陆培祥

其他文献

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AI项目解读示例

课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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