基于碳纳米管场发射的纳机电力传感技术研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50375083
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:25.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0511.机械测试理论与技术
- 结题年份:2006
- 批准年份:2003
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2004-01-01 至2006-12-31
- 项目参与者:唐飞; 杨兴; 郭琳瑞; 朱亮; 牛凯;
- 关键词:
项目摘要
碳纳米管有许多独特的优良特性,良好的场发射特性是其重要特性之一。利用碳纳米管场发射效应制作显示器、电子源等研究已有大进展,而利用其研制传感器还是空白。本课题的目标是研究基于碳纳米管的纳机电(NEMS)力传感技术,在碳纳米管生长技术和MEMS技术的基础上,通过这两项技术的有机结合,实现高灵敏度NEMS力传感器的原型,初步实现NEMS加速度计,并在将来扩展到NEMS陀螺等多种NEMS传感器。主要研究内容包括:碳纳米管场发射电流的距离敏感性研究;基于碳纳米管场发射的力传感结构的设计、建模、仿真和实验研究;MEMS制作工艺与选择性定向生长碳纳米管工艺的结合的研究;基于碳纳米管的力传感器的封装技术研究;基于碳纳米管的力传感器的检测、驱动及控制技术研究。微小、高精度的加速度计和陀螺等力传感器在航天航空、汽车、工业控制、能源、环保及医疗卫生等领域有广泛的应用前景,特别是在国防惯性导航方面有迫切需求。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(10)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(2)
专利数量(0)
碳纳米管在微机电系统(MEMS)中
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:微细加工技术,2004(1):9-17
- 影响因子:--
- 作者:叶雄英;郭琳瑞;周兆英
- 通讯作者:周兆英
Comparison of Field Emission C
场发射C比较
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Linrui Guo, Xiongying Ye, Hua
- 通讯作者:Linrui Guo, Xiongying Ye, Hua
MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:传感技术学报,Vol.19, No.5, pp.2340-2343 (2006.10)
- 影响因子:--
- 作者:郭琳瑞;陈烽;叶雄英;刘力涛
- 通讯作者:刘力涛
Gas Flow Directed Assembly of
气流定向组装
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Yi-Tao Liu, Xu-Ming Xie, Yan-F
- 通讯作者:Yi-Tao Liu, Xu-Ming Xie, Yan-F
定向多壁碳纳米管薄膜及其场致发
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:清华大学学报,Vol.46, No.11, pp.1876-1879 (2006,11)
- 影响因子:--
- 作者:郭琳瑞;叶雄英;周兆英;梁吉
- 通讯作者:梁吉
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- 通讯作者:叶雄英
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- 发表时间:--
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- 影响因子:--
- 作者:卜敏强;叶雄英;周兆英
- 通讯作者:周兆英
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