基于CMOS-MEMS单片集成与微悬桥真空缝合的超低气体流速传感器研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
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- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:30万
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- 批准年份:2021
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2021至
- 项目参与者:许威;
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