用于“毫微技术“的新型光致抗蚀剂的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:59473011
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:8.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0309.光电磁功能有机高分子材料
- 结题年份:1997
- 批准年份:1994
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1995-01-01 至1997-12-31
- 项目参与者:陈传福; 陈永明; 杨永红;
- 关键词:
项目摘要
毫微加工LIGA技术研究是国际上瞩目的高技术领域,并正在进一步发展为下世纪的一个高技术产业。本项课题系研究LIGA技术中光刻工艺所用的,适用于高能加速器软X光源曝光的新型光致抗蚀剂。研究结果为:1.成功地研制了聚甲基丙烯酸甲酯型光致抗蚀剂,其深层光刻厚度可达500微米至1000微米,光刻图形具有良好的尺寸精确性及分辨率,是目前国内达到的最好水平;2.合成了主链含“头-头”结构的以及侧链为大空间侧基的新型的甲基丙烯酸酯共聚物型光致抗蚀剂,软X光曝光的初步结果表明,主链中“头-头”结构的引入及侧链含某些大空间侧基将有助于提高聚甲基烯酸酯型光致抗蚀剂的感光度,提供了设计合成改善光致抗蚀剂感光度的一个新途径。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(2)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:微细加工技术
- 影响因子:--
- 作者:陈永明;彭良强;陈传福;伊福廷;习复
- 通讯作者:习复
PMMA在LIGA技术中的应用
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:微细加工技术
- 影响因子:--
- 作者:陈永明;伊福廷;陈传福;彭良强;习复
- 通讯作者:习复
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其他文献
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