基于多孔硅键合氧化技术直接在绝缘体上制备无位错应变硅材料的研究

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项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60776018
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    34.0万
  • 负责人：
    张轩雄
  • 依托单位：
    上海理工大学
  • 学科分类：
    F0401.半导体材料
  • 结题年份：
    2010
  • 批准年份：
    2007
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2008-01-01 至2010-12-31

项目摘要

应变硅材料的高载流子迁移率和绝缘体上硅（SOI）材料的低寄生结电容及全耗尽等优势，使得直接在绝缘体上的应变硅（Strained Si （Directly） On Insulator, SSDOI/SSOI）成为将来理想的硅基微电子材料。目前制作SSDOI/SSOI材料都需要在硅衬底上进行锗硅浓度比例渐变的锗硅外延生长的衬底作为应变模板即实际衬底（virtual substrate），然后再外延硅产生应变，最后利用层转移技术实现SSDOI制作。昂贵的锗硅外延及其批量生产的限制加上目前较高位错密度，限制了SSDOI的应用。因此寻找与现有硅工艺技术兼容且低成本无位错SSDOI材料制备方法有极其重要的意义。本研究拟避免昂贵的锗硅外延工艺，用抛光多孔硅与等离子体辅助键合技术相结合，用等离子体键合界面产生的大量水实现多孔硅内氧化，氧化的多孔硅侧向膨胀带动顶层硅拉伸应变，从而获得无位错SSDOI材料。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（1）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（3）
专利数量（0）

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其他文献

通风孔对压电麦克风低频响应的影响研究
  • DOI：
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  • 发表时间：
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    --
  • 作者：
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  • 通讯作者：
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带封装的压电麦克风声电模型
  • DOI：
    10.13873/j.1000-9787(2018)11-0042-03
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
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  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    华晴;沈拓;张轩雄
  • 通讯作者：
    张轩雄
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  • DOI：
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  • 发表时间：
    --
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  • 作者：
    宓斌伟;熊磊;焦继伟;张轩雄;葛道晗
  • 通讯作者：
    葛道晗

其他文献

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张轩雄的其他基金

基于离子切割技术制备的绝缘体上锗(GeOI)材料缺陷的去除方法研究
  • 批准号：
    61274105
  • 批准年份：
    2012
  • 资助金额：
    92.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目

相似国自然基金

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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