EUV光刻掩模缺陷原波长叠层衍射跨尺度检测理论与方法研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:52130504
- 项目类别:重点项目
- 资助金额:300万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:
- 结题年份:
- 批准年份:2021
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2021至
- 项目参与者:刘世元;
- 关键词:
项目摘要
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项目成果
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