基于原子力显微镜(AFM)微观电场的纳米焊接方法研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:61106109
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:27.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0406.集成电路器件、制造与封装
- 结题年份:2014
- 批准年份:2011
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2012-01-01 至2014-12-31
- 项目参与者:惠龙; 于鹏; 于海波; 王栋; 刘增磊; 王志迁;
- 关键词:
项目摘要
利用碳纳米管(CNT)及石墨烯制造纳米传感器、场效应管是纳米器件的重要研究领域,如何实现碳纳米管或石墨烯在微电极上的良好固定并形成可靠电连接对纳米器件的研究和制造具有重要意义。本项目将开展一种基于原子力显微镜(AFM)微观电场的纳米焊接方法研究。主要研究内容包括:AFM电场的仿真分析;基于热蒸镀原理的具有良好焊接效果的AFM导电探针镀层加工方法;基于场蒸发原理的可重复、高精度定点纳米焊接方法和实现技术。并通过对CNTFET及石墨烯纳米器件的定点焊接实验和性能测试研究,验证本项目研究的有效性,为CNT及石墨烯等纳米材料在纳米器件制造中的固定及可靠电连接提供可行技术。
结项摘要
本项目针对纳米器件研制中纳米材料和金属电极间接触电阻大及缺乏良好固定的问题,开展了基于原子力显微镜(AFM)微观电场的纳米焊接方法研究,在微观尺度实现了类似宏观点焊机器人作业方式的可重复、高精度纳米焊接。通过该方法对纳米材料进行固定及焊接,有效降低了CNT场效应管器件的接触电阻,提升了器件在导电性、抗干扰等方面的性能。本项目按照研究计划进度顺利完成了各阶段的研究任务,提出了基于AFM微观电场的纳米焊接加工方法,通过在AFM导电针尖和样本间施加一定电压,利用针尖–样本间产生的局部强电场使探针尖端金属原子离子化沉积到样本上形成焊接点,实现可重复,高精度纳米焊接功能。本项目在微观电场加工理论建模分析、导电探针镀层分析加工、AFM焊接方法应用及实验验证等几个方面开展了深入的研究,成功实现了对CNTFET器件的可重复、高精度定点焊接,并通过对焊接后器件性能测试验证了该方法的有效性。相关成果发表在Journal of Nanoparticle Research、科学通报等知名期刊上。该项目共发表论文6篇,其中SCI检索2篇,EI检索5篇,申请专利3项,培养研究生5人,满足了项目的指标。本项目的研究具有创新性,为纳米器件制造提供了新的技术手段,对纳米器件的研制和加工具有重要科学和现实意义。
项目成果
期刊论文数量(4)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(3)
专利数量(0)
Nanodot deposition and its application with atomic force microscope
纳米点沉积及其原子力显微镜应用
- DOI:10.1007/s11051-013-1687-1
- 发表时间:2013-05
- 期刊:Journal of Nanoparticle Research
- 影响因子:2.5
- 作者:Zenglei Liu;Ni;ong Jiao;Ke Xu;Zhidong Wang;Zaili Dong;Lianqing Liu
- 通讯作者:Lianqing Liu
Atomic force microscope deposition assisted by electric field
电场辅助原子力显微镜沉积
- DOI:--
- 发表时间:2013
- 期刊:Advanced Materials Research
- 影响因子:--
- 作者:Zenglei Liu;Ni;ong Jiao;Zhidong Wang;Lianqing Liu
- 通讯作者:Lianqing Liu
Fabrication and characteristic detection of graphene nanoelectrodes
石墨烯纳米电极的制备及特性检测
- DOI:10.1007/s11431-014-5603-4
- 发表时间:2014-07
- 期刊:Science China Technological Sciences
- 影响因子:--
- 作者:Shuangxi Xie, Zenglei Liu;Ni;ong Jiao;Steve Tung;Lianqing Liu
- 通讯作者:Lianqing Liu
基于AFM的纳米线沉积加工方法
- DOI:--
- 发表时间:2013
- 期刊:科学通报
- 影响因子:--
- 作者:刘增磊;焦念东;刘志华;王志东;刘连庆
- 通讯作者:刘连庆
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--"}}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--" }}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--"}}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
其他文献
锯齿型石墨烯带缺陷改性方法研究
- DOI:--
- 发表时间:2012
- 期刊:Acta Physica Sinica
- 影响因子:1
- 作者:焦念东;席宁;王越超;董再励
- 通讯作者:董再励
毫米级潜艇形机器人在低雷诺数液体中的3D运动及微操作方法研究
- DOI:10.13973/j.cnki.robot.190230
- 发表时间:2020
- 期刊:机器人
- 影响因子:--
- 作者:孙强;王敬依;张颖;焦念东
- 通讯作者:焦念东
触控式光诱导介电泳操控方法研究
- DOI:--
- 发表时间:2018
- 期刊:高技术通讯
- 影响因子:--
- 作者:刘天波;戴永庆;袁帅;董 挺;焦念东
- 通讯作者:焦念东
机器人化微纳操作研究进展
- DOI:--
- 发表时间:2013
- 期刊:科学通报
- 影响因子:--
- 作者:于海波;焦念东;于鹏;刘连庆
- 通讯作者:刘连庆
基于纳米运动平台的原子力显微镜开发
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:高技术通讯.
- 影响因子:--
- 作者:席宁;王越超;焦念东;董再励
- 通讯作者:董再励
其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--" }}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--"}}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--" }}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}

内容获取失败,请点击重试

查看分析示例
此项目为已结题,我已根据课题信息分析并撰写以下内容,帮您拓宽课题思路:
AI项目摘要
AI项目思路
AI技术路线图

请为本次AI项目解读的内容对您的实用性打分
非常不实用
非常实用
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
您认为此功能如何分析更能满足您的需求,请填写您的反馈:
焦念东的其他基金
基于磁控连续体微型机器人的脑胶质瘤光动力治疗方法研究
- 批准号:
- 批准年份:2022
- 资助金额:53 万元
- 项目类别:面上项目
基于磁控连续体微型机器人的脑胶质瘤光动力治疗方法研究
- 批准号:62273331
- 批准年份:2022
- 资助金额:53.00 万元
- 项目类别:面上项目
藻类细胞机器人的运动控制方法研究
- 批准号:61573339
- 批准年份:2015
- 资助金额:65.0 万元
- 项目类别:面上项目
相似国自然基金
{{ item.name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 批准年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}
相似海外基金
{{
item.name }}
{{ item.translate_name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 财政年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}