半导体材料表面超精细抛光新技术研究

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基本信息

  • 批准号：
    60076002
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    17.0万
  • 负责人：
    孙建军
  • 依托单位：
    厦门大学
  • 学科分类：
    F0401.半导体材料
  • 结题年份：
    2003
  • 批准年份：
    2000
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2001-01-01 至2003-12-31

项目摘要

拟利用约束刻蚀剂层(CELT)的原理,研究出对半导体材料表面进行超精细抛光的新方法和新ひ?以满足制造超高速微芯片等的需要.着重研究纳米级超平整膜板的制备方法,筛选出合适的电化学抛光体系,从小面积抛光开始,最终研制出符合将来微电子工艺对半导体材料表面粗糙度要求的切适可行的抛光新技术.

结项摘要

项目成果

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专著数量（0）
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其他文献

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  • 作者：
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  • 通讯作者：
    查晓明
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  • DOI：
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  • 发表时间：
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  • 作者：
    赵宇翔;彭希羡;孙建军
  • 通讯作者：
    孙建军
上海高层住宅的发展及平面类型特点
  • DOI：
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  • 发表时间：
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  • 期刊：
    城市建筑
  • 影响因子：
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  • 作者：
    李振宇;孙建军
  • 通讯作者：
    孙建军
液电脉冲激波碎煤能量转换效率分析
  • DOI：
    10.13199/j.cnki.cst.2021.1.027
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
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基于高频等值阻抗的机电-电磁暂态混合仿真接口模型
  • DOI：
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  • 发表时间：
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  • 作者：
    张能;孙建军;程成;曹志煌;潘静;徐斌
  • 通讯作者：
    徐斌

其他文献

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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