高衍射效率凸面光栅的消像差设计理论构建及摆动离子束刻蚀制作技术研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:62005270
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:24万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0508.应用光学
- 结题年份:
- 批准年份:2020
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2020至
- 项目参与者:张伟;
- 关键词:
项目摘要
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项目成果
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