基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器设计理论与实现方法的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:61106114
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:25.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0407.微纳机电器件与控制系统
- 结题年份:2014
- 批准年份:2011
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2012-01-01 至2014-12-31
- 项目参与者:殷刚毅; 宋竞; 王立峰; 刘红; 张晓艳; 徐宝馨;
- 关键词:
项目摘要
随着雷达、通信等领域技术的快速发展,带宽、幅频特性、可靠性和工作稳定性之间的矛盾使得现有的射频系统已经越来越不能满足日益提高的应用要求。在不影响射频系统的性能和成本的前提下,本项目首次提出了一种用于灵活调节系统幅频特性的基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器结构方案,其特点是结构新颖、性能优越、应用性强、工艺兼容性好。本项目的核心研究内容是建立一套完整的可重构微波均衡器设计理论和实现方法,包括:(1)微波均衡器和RF MEMS开关各种模型的建立和设计方法的研究;(2)MEMS微波均衡器可重构结构的设计理论和方法研究;(3)应用所取得的研究成果,指导基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器样片的设计和工艺制作;(4)建立可重构微波均衡器的测试系统,用试验研究的方法验证设计理论与方法的有效性。
结项摘要
本项目以可重构MEMS微波均衡器为研究对象,将RF MEMS开关应用在微波均衡器结构中,实现了均衡曲线的可重构。项目研究了高性能RF MEMS热驱动开关结构及其微波模型和静力学模型,重点研究了可重构MEMS微波均衡器的微波模型和匹配设计方法,并在理论模型和仿真优化的基础上完成了两种可重构MEMS微波均衡器结构及四种RF MEMS热驱动开关结构的工艺流程设计、工艺制备和测试,测试结果显示了可重构MEMS微波均衡器可以实现多种均衡曲线的转换,具备优良的微波特性和机械特性,验证了设计理论的正确性和实现方法的有效性,为下一步的工程应用奠定了基础。
项目成果
期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(11)
专利数量(0)
Measurement and analysis of substrate leakage current of RF mems capacitive switches
RF MEMS电容开关基板漏电流的测量与分析
- DOI:10.1016/j.microrel.2013.07.011
- 发表时间:2014
- 期刊:Microelectronics Reliability
- 影响因子:1.6
- 作者:朱雁青
- 通讯作者:朱雁青
Novel DC-40 GHz MEMS series-shunt switch for high isolation and high power applications
适用于高隔离度和高功率应用的新型 DC-40 GHz MEMS 串并联开关
- DOI:10.1016/j.sna.2014.04.024
- 发表时间:2014-08-01
- 期刊:SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
- 影响因子:4.6
- 作者:Zhu, Yan-qing;Han, Lei;Huang, Qing-an
- 通讯作者:Huang, Qing-an
有关MEMS 结构运动过程中产生和辐射电磁波的研究
- DOI:--
- 发表时间:2012
- 期刊:Chinese Journal of Sensors and Actuators
- 影响因子:--
- 作者:韩磊
- 通讯作者:韩磊
MEMS Switch MANAGES Millimeter-Wave Signals
MEMS 开关管理毫米波信号
- DOI:--
- 发表时间:2013
- 期刊:Microwaves & RF
- 影响因子:--
- 作者:Zhu, Yan-Qing;Han, Lei;Tang, Jie-Ying
- 通讯作者:Tang, Jie-Ying
A Novel Three-State RF MEMS Switch for Ultrabroadband (DC-40 GHz) Applications
适用于超宽带 (DC-40 GHz) 应用的新型三态 RF MEMS 开关
- DOI:10.1109/led.2013.2269993
- 发表时间:2013-08-01
- 期刊:IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS
- 影响因子:4.9
- 作者:Zhu, Yan-Qing;Han, Lei;Huang, Qing-An
- 通讯作者:Huang, Qing-An
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