DCArcPlasmaJetCVD光学金刚石厚膜生长模型与仿真
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:59872003
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:13.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0207.无机非金属半导体与信息功能材料
- 结题年份:2001
- 批准年份:1998
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1999-01-01 至2001-12-31
- 项目参与者:张禹; 宋晓艳; 钟国仿; 陈雨来; 李洪香;
- 关键词:
项目摘要
研究开发直流电弧等离子体喷射CVD法制备光学级金刚石厚膜同质外延生长过程的可视花仿真技术,并充分发挥该技术可将离子/分子和显微组织两个层次研究有机结合和直观、高效榷捞赜攀疲钊胙芯客庋由つJ胶突疲⑽恋砉ひ沼呕峁┮恢中赂ㄖ侄巍I鲜鲅芯砍晒嗫赏乒阌τ糜谄渌麮VD金刚石膜生长过程研究和工艺优化。.
结项摘要
项目成果
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专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(1)
专利数量(0)
含时间变量的多晶体材料晶粒尺度三维组织建模及其可视化研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:北京科技大学学报
- 影响因子:--
- 作者:秦湘阁;刘国权
- 通讯作者:刘国权
Comparison of atomic-scale KMC simulation on {100}-oriented CVD diamond film growth in C-H and C-H-Cl systems
C-H 和 C-H-Cl 体系中 {100} 取向 CVD 金刚石薄膜生长的原子级 KMC 模拟比较
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Chinese Physics Letters
- 影响因子:3.5
- 作者:Xizhong An;Yu Zhang;Guoquan Liu;Xiangge Qin;Fuzhong Wang;Shengxin Liu
- 通讯作者:Shengxin Liu
Atomic scale KMC simulation of {100}-oriented CVD diamond film growth under low substrate temperture - Part II Simulation of CVD diamond film growth in C-H system and in Cl-containing systems
低温下{100}取向CVD金刚石薄膜生长的原子级KMC模拟-第二部分C-H体系和含Cl体系中CVD金刚石薄膜生长的模拟
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Journal of University of Science and Technology Beijing
- 影响因子:--
- 作者:Xizhong An;Yu Zhang;Guoquan Liu;Xiangge Qin;Fuzhong Wang;Shengxin Liu
- 通讯作者:Shengxin Liu
金刚石膜的计算机虚拟制备技术中的分子动力学模拟
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:功能材料
- 影响因子:--
- 作者:安希忠;张 禹;刘国权;秦湘阁;刘俊友
- 通讯作者:刘俊友
CVD金刚石膜{100}取向在三种不同化学反应模型下生长的原子尺度仿真
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:北京科技大学学报
- 影响因子:--
- 作者:安希忠;张 禹;刘国权;秦湘阁;王辅忠
- 通讯作者:王辅忠
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- 通讯作者:刘国权
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- 发表时间:--
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- 通讯作者:秦湘阁
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- DOI:--
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- DOI:--
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- 影响因子:--
- 作者:秦湘阁;刘国权;王浩
- 通讯作者:王浩
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- DOI:--
- 发表时间:2011
- 期刊:材料科学与工艺
- 影响因子:--
- 作者:向嵩;刘国权
- 通讯作者:刘国权
其他文献
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