金属-GaN半导体接触材料体系的相平衡与相稳定性研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50371008
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:30.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0101.金属材料设计、计算与表征
- 结题年份:2006
- 批准年份:2003
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2004-01-01 至2006-12-31
- 项目参与者:罗德贵; 李梅; 马小彦; 刘丽惠; 陈明元;
- 关键词:
项目摘要
金属-半导体接触材料是半导体器件和大规模集成电路的重要组成部分。金属-半导体接触界面,由于其具有独特的电学特性(肖特基特性和欧姆特性),早已引起了人们的关注。GaN型半导体,由于其具有极高的热稳定性和化学稳定性等特点,对金属接触材料提出了更高的要求。本项目拟针对已经使用和有希望使用的金属-GaN半导体接触材料,以Ga、N、Al、Au、Ni、Pd、Pt、Ti等元素构成特征体系,研究其子系统在GaN半导体上形成的单层、双层、或多层结构体系的相平衡和相稳定性,包括多元复相平衡体系中各种稳定相和亚稳相存在的成分空间和相变驱动力等问题。深入研究多层结构接触界面区域的相组成和组织结构演化,不仅能够分析其界面区域的相变反应、互扩散过程、及微观结构变化,从而评定其抗高温耐热损等性能,而且对于设计合适的过渡中间层和扩散阻挡层、制订合理的制备工艺等都具有重要的理论指导意义。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(18)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(6)
专利数量(0)
Study on the phase diagrams of
相图研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Jie Gao, Changrong Li*, Zhenmi
- 通讯作者:Jie Gao, Changrong Li*, Zhenmi
The thermodynamic analysis of
热力学分析
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Mei Li, Changrong Li*, Fuming
- 通讯作者:Mei Li, Changrong Li*, Fuming
Si-TiNx和TiNx-Cu界面反应驱动
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:中国科技论文在,2006年11月1日。
- 影响因子:--
- 作者:李长荣*;李维君;王炜;王福明
- 通讯作者:王福明
The constraints for the thermo
热力的限制
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Changrong Li*, Jincheng Hu, Fu
- 通讯作者:Changrong Li*, Jincheng Hu, Fu
Thermodynamic assessment of th
热力学评估
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:X.Liu, Z.Du*, C.Guo, C.Li,
- 通讯作者:X.Liu, Z.Du*, C.Guo, C.Li,
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其他文献
氧化铝/氧化镧 X射线衍射及拉曼光谱研究
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- 期刊:光谱学与光谱分析
- 影响因子:--
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- 通讯作者:庄昌凌
镧对高碳硬线钢中Al2O3夹杂物改性的晶体学分析
- DOI:--
- 发表时间:2022
- 期刊:钢铁
- 影响因子:--
- 作者:陈璐;李长荣;熊星强
- 通讯作者:熊星强
Nb/V 复合强化对高强度钢筋显微组织和性能的影响
- DOI:--
- 发表时间:2022
- 期刊:建筑材料学报
- 影响因子:--
- 作者:曾泽芸;李长荣;黎志英;翟勇强;王劼
- 通讯作者:王劼
HRB500E抗震钢筋中钛化物析出热力学分析
- DOI:--
- 发表时间:2020
- 期刊:钢铁
- 影响因子:--
- 作者:曾泽芸;李长荣;黎志英;刘占林;李正嵩;翟勇强
- 通讯作者:翟勇强
Zr-Nb合金调幅分解组织的研究
- DOI:--
- 发表时间:2017
- 期刊:稀有金属
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- 作者:郭翠萍;訾建玲;李长荣;杜振民
- 通讯作者:杜振民
其他文献
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