基于MEMS技术的反铁电厚膜微悬臂梁场致应变效应研究

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项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60806039
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    20.0万
  • 负责人：
    丑修建
  • 依托单位：
    中北大学
  • 学科分类：
    F0407.微纳机电器件与控制系统
  • 结题年份：
    2011
  • 批准年份：
    2008
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2009-01-01 至2011-12-31

项目摘要

利用反铁电材料电场诱导反铁电-铁电相变的快速开关特性和大场致应变效应，实现反铁电厚膜材料与MEMS技术的集成，将给高灵敏度、大位移量微执行器的开发带来新的思路。本项目研究拟从材料科学与器件应用相衔接的角度出发，以高度取向的LaNiO3薄膜为缓冲层，诱导生长与硅集成的5μm～10μm择优取向反铁电厚膜，结合MEMS微加工技术，研制具有优异疲劳特性(≥10E9次)、快响应速度(达到μs量级)、大应变量(≥0.5%)的(Pb,La)(Zr,Sn,Ti)O3 (PLZST)和Pb(Zr,Sn,Ti,Nb)O3（PZSTN）反铁电厚膜微悬臂梁，揭示PLZST和PZSTN反铁电厚膜及其微悬臂梁在外场（温度、应力以及激励电场等）作用下的相变规律和应变行为，建立PLZST和PZSTN反铁电厚膜微悬臂梁作为微驱动构件的电场致动力学模型，为高灵敏度、大位移量微执行器的设计和开发提供理论依据和微驱动构件支持。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（9）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（4）
专利数量（2）
硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    测试技术学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    卢荻;刘俊;丑修建;赵振宇
  • 通讯作者：
    赵振宇
Preparation and dielectric properties of highly preferred- (100) orientation (Pb,La)(Zr,Ti)O3 antferroelectric thick films by solgel processing
溶胶法制备高择优-(100)取向(Pb,La)(Zr,Ti)O3反铁电厚膜及其介电性能
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Joumal of Sol-Gel Science and Technology
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Yating Zhang;Jun Liu;Maoxiang Guo;Xiujian Chou
  • 通讯作者：
    Xiujian Chou
Phase Transition Characterization dependent on Temperature and DC Electric Field for (Pb, La) (Zr, Ti)O3 Antiferroelectric Thick Films
(Pb, La) (Zr, Ti)O3 反铁电厚膜的相变表征取决于温度和直流电场
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Key Engineering Materials
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    丑修建；杜妙璇；吕勇博；张文栋
  • 通讯作者：
    丑修建；杜妙璇；吕勇博；张文栋
Electric Field-induced Phase Transition Characteristics at various temperatures in (Pb,La)(Zr,Ti)O3 Antiferroelectric Thick Films. Journal of Sol-Gel
(Pb,La)(Zr,Ti)O3 反铁电厚膜在不同温度下电场诱导的相变特性。
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Journal of Sol-Gel Science and Technology
  • 影响因子：
    2.5
  • 作者：
    Jun Liu;Wenping Geng;Wendong Zhang;Xiujian Chou
  • 通讯作者：
    Xiujian Chou
Film thickness-dependent microstructures and dielectric Properties of Pb(Zr, Ti)O3 Thick films by sol-gel processing
溶胶-凝胶法制备 Pb(Zr, Ti)O3 厚膜的薄膜厚度相关微观结构和介电性能
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Applied Mechanics and Materials
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    熊继军;田英;郭涛;张亚婷;丑修建;耿文平
  • 通讯作者：
    耿文平

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其他文献

溅射功率对HfO2薄膜结构及电学性能的影响
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  • 通讯作者：
    熊继军
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  • 通讯作者：
    丑修建
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  • 发表时间：
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  • 期刊：
    功能材料
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
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  • 通讯作者：
    张文栋
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    --
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
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  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    李森;侯晓娟;丑修建
  • 通讯作者：
    丑修建
原子层沉积制备TiN薄膜对三维MIM电容器的影响
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  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
    中北大学学报（自然科学版）
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    穆继亮;丑修建;马宗敏;何剑;熊继军
  • 通讯作者：
    熊继军

其他文献

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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