新型SiC/SiCGe光控功率晶体管及其光电特性研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:60876050
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:30.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0403.半导体光电子器件与集成
- 结题年份:2011
- 批准年份:2008
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2009-01-01 至2011-12-31
- 项目参与者:卢刚; 封先锋; 林涛; 李连碧; 曹林; 梁容海; 任杰; 南亚公;
- 关键词:
项目摘要
为避免电磁干扰,弥补SiC在光电子领域应用的不足,基于SiCGe/SiC异质结和超结原理,提出了易于制备的新型SiC/SiCGe光控功率晶体管。.本项目拟采用热壁CVD法在半绝缘SiC衬底上同质外延P型SiC层以及在p-SiC外延层上异质外延n型SiCGe材料。利用禁带宽度随组分可调的三元合金n型SiCGe与p柱SiC间形成横向异质结n-SiCGe/p-SiC,纵向采用n-SiCGe/p-SiC类"超结"结构,制备出新型SiC/SiCGe光控功率晶体管。着重研究器件结构的优化设计、碳化硅衬底上同质外延p-SiC高效掺杂问题以及n-SiCGe禁带宽度、吸收系数等光学性质随组分和工艺参数变化关系。SiC刻蚀与牺牲氧化工艺、外延层之间晶格匹配问题,也是本项目走向实用化必须研究的重要内容。研究内容还包括欧姆电极的制备以及材料参数和器件结构参数对光控器件的功率处置能力、光谱响应影响等问题
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(5)
专利数量(0)
Switching characters of SiCGe/SiC heterojunction: an optically triggered lateral power transistor with charge compensation layer
SiCGe/SiC异质结的开关特性:带电荷补偿层的光触发横向功率晶体管
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
An optically controlled sic lateral power transistor based on SiC/SiCGe superjunction structure
基于SiC/SiCGe超结结构的光控SiC横向功率晶体管
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
Hetero-epitaxial defects and optical characteristics of SiCGe layers grown on 6H-SiC substrate
6H-SiC 衬底上生长的 SiCGe 层的异质外延缺陷和光学特性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
Evidence of responsivity and breakdown voltage improvement in SiCGe/SiC phototransistor with charge compensation layer
带电荷补偿层的 SiCGe/SiC 光电晶体管的响应度和击穿电压改善的证据
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
Optically controlled SiCGe/SiC heterojunction transistor with charge-compensating layer
具有电荷补偿层的光控SiCGe/SiC异质结晶体管
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
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