激光烧蚀制备纳米硅晶粒成核区动力学研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:10774036
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:34.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A2202.光与物质相互作用
- 结题年份:2010
- 批准年份:2007
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2008-01-01 至2010-12-31
- 项目参与者:傅广生; 褚立志; 周阳; 邓泽超; 徐伟;
- 关键词:
项目摘要
本工作拟采用脉冲激光烧蚀技术,分别通过引入氩气流、外加电场和引入连续激光光束的方法,对烧蚀产物和纳米硅晶粒施加垂直于羽辉轴线方向上的外力,在羽辉下方平行于羽辉方向的衬底上沉积制备纳米硅晶薄膜;采用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)、x射线衍射(XRD)、Raman和光致发光(PL)谱等技术,研究距靶不同位置的薄膜中晶粒尺寸分布和数密度分布的特征;与未引入外力时的相应结果比较,并改变引入外力的位置,结合晶粒形成和输运的动力学过程分析,提出定量确定晶粒的成核区特征参量(位置和范围等)的新方法;研究环境气体种类、环境气压、二元环境气体混合比例、靶衬间距等实验参数对成核区特征参量的影响,以探求影响成核区位置和范围的关键因素,揭示激光烧蚀过程中成核区动力学机理。本项目的完成,将为实现晶粒尺寸分布的均匀可控提供理论依据,有助于硅基光电集成技术的发展。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(26)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
激光退火实现非晶Si晶化的成核势垒研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:人工晶体学报
- 影响因子:--
- 作者:丁学成;褚立志;王英龙;梁伟华;邓泽超;傅广生
- 通讯作者:傅广生
激光退火能量对非晶Si薄膜晶化的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:河北大学学报(自然科学版)
- 影响因子:--
- 作者:马娜;褚立志;王英龙;邓泽超
- 通讯作者:邓泽超
初始溅射烧蚀粒子总数对其传输中的密度和速度分布的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:中国激光
- 影响因子:--
- 作者:褚立志;丁学成;王英龙;傅广生;邓泽超;梁伟华
- 通讯作者:梁伟华
沉积位置对脉冲激光沉积纳米Si晶薄膜微观结构的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:功能材料
- 影响因子:--
- 作者:刘保亭;周阳;王英龙;郑红芳
- 通讯作者:郑红芳
环境气体种类对烧蚀粒子输运动力学的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:河北大学学报(自然科学版)
- 影响因子:--
- 作者:傅广生;丁学成;杨宝柱;王英龙;王世俊
- 通讯作者:王世俊
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其他文献
基于微粒群算法的无线传感器网络节点定位方法
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:山东大学学报(理学版),
- 影响因子:--
- 作者:周书旺;王英龙;郭强;魏诺
- 通讯作者:魏诺
信号强度和运动向量结合的无线传感器网络移动节点定位
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:电子学报
- 影响因子:--
- 作者:李东岳;郭强;刘颖慧;魏诺;于伟;王英龙
- 通讯作者:王英龙
基于双重属性信息的跨模态行人重识别算法
- DOI:10.13700/j.bh.1001-5965.2020.0614
- 发表时间:2022
- 期刊:北京航空航天大学学报
- 影响因子:--
- 作者:陈琳;高赞;宋雪萌;王英龙;聂礼强
- 通讯作者:聂礼强
带最小时间的PTF信道采样策略
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:山东大学学报(理学版),
- 影响因子:--
- 作者:郭强;李东岳;王英龙;刘颖慧
- 通讯作者:刘颖慧
应用三个移动锚节点的非测距定位方法
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:山东科技大学学报(自然科学版)
- 影响因子:--
- 作者:崔焕庆;周传爱;王英龙
- 通讯作者:王英龙
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