新型非晶碳基薄膜压阻材料与MEMS器件关键技术
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:U20A20296
- 项目类别:联合基金项目
- 资助金额:260万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0512.微纳机械系统
- 结题年份:
- 批准年份:2020
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2020至
- 项目参与者:汪爱英;
- 关键词:
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项目成果
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