动态电场对熔石英表面蚀刻动力学过程的调控机理研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
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- 项目类别:面上项目
- 资助金额:64万
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- 依托单位:
- 学科分类:
- 结题年份:
- 批准年份:2020
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2020至
- 项目参与者:刘太祥;
- 关键词:
项目摘要
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项目成果
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