基于ECR等离子体的13.5nm极紫外光源的研制

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项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60706006
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    25.0万
  • 负责人：
    赵环昱
  • 依托单位：
    中国科学院近代物理研究所
  • 学科分类：
    F0406.集成电路器件、制造与封装
  • 结题年份：
    2010
  • 批准年份：
    2007
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2008-01-01 至2010-12-31

项目摘要

本项目作为电子回旋共振（ECR）等离子体向商业化极紫外（EUV）光刻光源发展的一项阶段性研究，计划研制一台紧凑型全永磁ECR等离子体光源，对其在EUV光刻技术中的应用前景进行探索，具体内容为：（1）研究等离子体的各工作参数对其在13.5nm波长的极紫外辐射强度的影响，并通过优化各参数实现等离子体在13.5nm极紫外辐射的局域增强；（2）利用炉子加热、MIVOC、溅射等方法产生Sn、Li这些极紫外转化效率高的等离子体，并研究各方法的转化效率；（3）通过修正等离子体形状，优化收集光学系统来提高对等离子体发出的13.5nm极紫外辐射的收集效率；（4）以前面的研究结果为基础，提出适用于EUV光刻的全超导ECR等离子体光源的设计方案。本项目将从全新的角度对ECR等离子体的应用前景进行探索，同时对极紫外光刻（EUVL）技术的发展也具有极其重要的现实意义。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（3）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
ECR等离子体的窄带宽极紫外辐射
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Review of Scientific Instruments
  • 影响因子：
    1.6
  • 作者：
    赵环昱
  • 通讯作者：
    赵环昱
LECR2M等离子体的热电子实验研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Review of Scientific Instruments
  • 影响因子：
    1.6
  • 作者：
    赵环昱
  • 通讯作者：
    赵环昱
高电荷态ECR等离子体中约束磁场对热电子的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Plasma Sources Science & Technology
  • 影响因子：
    3.8
  • 作者：
    赵环昱
  • 通讯作者：
    赵环昱

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  • 作者：
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High Power Test of An Injector Linac For Cancer Therapy Facilities
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    --
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  • 影响因子：
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  • 作者：
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  • 通讯作者：
    孙良亭
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  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
    原子能科学技术
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    卢亮;Toshiyuki HATTORI;赵环昱
  • 通讯作者：
    赵环昱
激光离子源双脉冲打靶方案的实现（英文）
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
    原子核物理评论
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    赵环昱;孙良亭;张雪珍;赵红卫
  • 通讯作者：
    赵红卫

其他文献

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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