微型机械电子系统(MEMS)测试计量技术与理论研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50535030
- 项目类别:重点项目
- 资助金额:240.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0512.微纳机械系统
- 结题年份:2009
- 批准年份:2005
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2006-01-01 至2009-12-31
- 项目参与者:王立鼎; 张文栋; 蒋向前; 方素平; 禇金奎; 陈兢; 卢德江; 王晓东; 栗大超;
- 关键词:
项目摘要
MEMS测试计量技术与理论是MEMS设计、制造及质量控制和评价的关键环节之一,迫切需要进行系统而深入的理论研究。本项目的主要研究内容包括MEMS微结构特征的分析、提取、表征和评定理论,对构造基准面建立数学模型,对功能特征区域用微结构分割技术进行识别;基于扫描白光干涉法对薄膜和微构件位移、变形进行测量与表征,提出相干峰提取的新算法;片内集成专用测试结构和大加速度、高低温条件下MEMS动静态测试的关键技术;薄膜和微构件材料的力学性能测量与表征,依据归一化思想,研究三种测试方法评定结果的一致性,并建立相应的评价模型;MEMS器件和系统测试与评定的标准化;对MEMS几何参数测量研制能溯源到光波波长的纳米结构样板,并把样板的制备和量值溯源统一起来。本研究将系统研究MEMS测试计量理论与技术,初步建立MEMS位移、变形、特征结构、力学性能以及动静态特性的标准评价体系,满足MEMS技术发展的需要。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(32)
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