异质结源漏6H-SiC N沟MOSFET的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:60476007
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:22.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0401.半导体材料
- 结题年份:2007
- 批准年份:2004
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2005-01-01 至2007-12-31
- 项目参与者:汤晓燕; 郜锦侠; 郭辉; 冯建峰; 赵艳英;
- 关键词:
项目摘要
SiC是一种新型的半导体材料,由于它具有优异的物理和化学性能,所以在高频、高温、高功率和高抗辐照的器件和集成电路中有着很好的应用前景。但是目前国际上多采用的是常规MOSFET的结构,存在着沟道载流子迁移率和跨导低的问题,源漏区需要离子注入和高温退火,工艺难度大。特别是常规的结构很难研制出性能良好的SiC PMOSFET。本项目提出一种新颖的结构,用异质结源漏代替常规MOSFET的PN结源漏,克服了源漏需要离子注入工艺,工艺简单,而且不会因引起二次缺陷,有利于克服侧墙问题和常规结构中的源漏串联电阻对器件带来的不利影响
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(7)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
4H-SiC 隐埋沟道MOSFET亚阈特性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:功能材料与器件学报,Vol.12,No.2, 2006,130-134
- 影响因子:--
- 作者:郜锦侠;张义门;张玉明;汤晓燕
- 通讯作者:汤晓燕
6H-SiC Schottky Barrier Source
6H-SiC肖特基势垒源
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Tang Xiao-yan, Zhang Yi-men, Z
- 通讯作者:Tang Xiao-yan, Zhang Yi-men, Z
n+多晶硅/N+SiC异质结形成欧姆接
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:半导体学报 2006年12月,27卷,增刊:239-241
- 影响因子:--
- 作者:张林;张义门;张玉明;汤晓燕
- 通讯作者:汤晓燕
N型Ni基SiC欧姆接触比接触电阻的
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:西安电子科技大学学报,已录
- 影响因子:--
- 作者:郭辉;张义门;张玉明;汤晓燕
- 通讯作者:汤晓燕
6H-SiC异质结源漏MOSFET的模拟仿
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:电子器件,2006,29卷,第4期:1019-1022
- 影响因子:--
- 作者:张林;张义门;张玉明;汤晓燕
- 通讯作者:汤晓燕
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--"}}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--" }}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--"}}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
其他文献
Fabrication and characteristics of a 4H-SiC junction barrier Schottky diode
4H-SiC结势垒肖特基二极管的制备及特性
- DOI:10.1088/1674-4926/32/6/064003
- 发表时间:2011-06
- 期刊:半导体学报
- 影响因子:--
- 作者:陈丰平;张玉明;吕红亮;张义门;郭辉;郭鑫
- 通讯作者:郭鑫
4H-SiC钒离子注入层的特性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:半导体学报,27(增刊),120-123,2006年12月 ( EI )
- 影响因子:--
- 作者:王超*;张玉明;张义门
- 通讯作者:张义门
XRD法计算4H-SiC外延单晶中的位错密度
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:光谱学与光谱分析
- 影响因子:--
- 作者:张玉明;郭辉;张义门;贾仁需
- 通讯作者:贾仁需
SiC晶体缺陷的阴极荧光无损表征研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:光谱学与光谱分析
- 影响因子:--
- 作者:张玉明;苗瑞霞;汤晓燕;张义门
- 通讯作者:张义门
其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--" }}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--"}}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--" }}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}

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{{ item.name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 批准年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}
相似海外基金
{{
item.name }}
{{ item.translate_name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 财政年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}