大尺度下深纹纳米结构制造方法与机理表征

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AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    91023044
  • 项目类别：
    重大研究计划
  • 资助金额：
    220.0万
  • 负责人：
    陈林森
  • 依托单位：
    苏州大学
  • 学科分类：
    E0510.制造系统与智能化
  • 结题年份：
    2014
  • 批准年份：
    2010
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2011-01-01 至2014-12-31

项目摘要

节能环保与低成本是新兴产业（新能源、新型显示、新材料）发展的两大主题，必然要求探索大尺寸下高效纳米加工新方法与机理这一共性问题，为新型纳米器件与材料研究提供基础技术与方法。本项目：研究大尺寸（>12"）柔性衬底栅上实现20nm-200nm结构的原理方法和基础条件（实验装置、理论和工艺链），表征典型金属纳米薄膜器件制造机理与特性。提出"浸没干涉光学头"核心方案，解决（1）深纹纳米结构形成与表征（2）空间调制的平铺频闪光刻（TFP）的加工效率与精度对纳米结构性能的影响（3）脉冲高功率光场与材料相互作用的可调参量与特征模式；在此基础上，研究柔性化金属-介质纳米结构的制造机理与流程等难题，研究并建立"支持纳米结构制造的紫外激光干涉直写和工艺链（纳米压印等）"重大实验装置，形成有特色的纳米制造模式，为柔性化纳米制造提供关键技术基础。提供金属-介质纳米薄膜（偏振等）样品验证与评价。

结项摘要

针对新材料、显示、柔性光电子等领域对节能、环保与低成本的重大需求，本项目致力探索大尺寸下纳米加工的新方法和机理，研究高速率纳米制造的关键技术。主要包括像素尺度下纳米结构混合光刻技术、傅立叶变换光路与位相调制连续变频微纳光场形成方法、柔性光电子衬底材料制造的工艺链等内容。.通过空间位相联合调制和纳秒时序平铺频闪曝光，351nm波长下，0.5um像素内特征结构100nm（深宽比可达3:1），定位精度20nm，光刻效率300-3000平方毫米/分，实现了4-16Tb海量数据直写，制备了32寸深纹（5微米）结构模具；实现像素光场0-5000线/mm连续空频改变的原理设计与实验系统构建，结构调控精度达0.1nm，制备了变焦距菲涅耳透镜阵列、变空频和取向的亚像素纳米光栅、深纹纳米压印模具和压印样品。.基于混合光刻和卷对卷纳米压印技术，通过产学研合作，研制了多台套基于微纳混合光刻原理和UV纳米组合压印机理的设备，建立了柔性功能材料纳米制造的工艺验证制程。完成大尺寸透明导电膜、颜色显示膜及微透镜阵列膜的一致性、可靠性验证和创新应用。本项目融合了基础、技术和示范应用的各环节，形成了有特色的纳米制造创新模式，建立了大尺寸纳米制造的共性关键技术基础。.在高速率微纳混合直写技术、纳米精度的连续变空频微纳结构调控方法、大尺寸纳米压印模具制造等方面，填补了空白，具有行业领先水平，将为大尺寸纳米器件与材料研究与创新应用提供系统性支撑。

项目成果

期刊论文数量（12）
专著数量（1）
科研奖励数量（6）
会议论文数量（5）
专利数量（0）
基于金属-介质-金属结构的反射式彩色滤光片特性研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2012
  • 期刊：
    应用光学
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    丁秋兰;周云;叶燕;陈林森;DING Qiu-lan;ZHOU Yun;YE Yan;CHEN Lin-sen
  • 通讯作者：
    CHEN Lin-sen
High-Performance Flexible Organic Light-Emitting Diodes Using Embedded Silver Networks Transparent Electrodes
使用嵌入式银网络透明电极的高性能柔性有机发光二极管
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2014
  • 期刊：
    ACS Nano.
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Heng-Yang Xiang;Su Shen;Yan-Qing Li;Jing-De Chen;Hao-Jun Xie;Irene A. Goldthorpe;Lin-Sen Chen;Shuit-Tong Lee;Jian-Xin Tang
  • 通讯作者：
    Jian-Xin Tang
span style=font-family:; calibri,sans-serif;font-size:10.5pt;=Broadband light out-coupling enhancement of flexible organic light-emitting diodes using biomimetic quasirandom nanostructures/span
使用仿生准随机纳米结构增强柔性有机发光二极管的宽带光输出耦合
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2014
  • 期刊：
    Advanced Optical Materials
  • 影响因子：
    9
  • 作者：
    Rong Wang;Lu-Hai Xu;Yan-Qing Li;Lei Zhou;Chi Li;Qing-Dong Ou;Jing-De Chen;Su Shen;Jian-Xin Tang
  • 通讯作者：
    Jian-Xin Tang
金属光栅型偏振彩色滤光片
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
    光学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    叶燕;周云;张恒;申溯;陈林森
  • 通讯作者：
    陈林森
span style=font-family:; calibri,sans-serif;font-size:10.5pt;=Dielectric-based subwavelength metallic meanders for wide-angle band absorbers/span
用于广角带吸收器的基于电介质的亚波长金属曲折
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Optics Express
  • 影响因子：
    3.8
  • 作者：
    Su Shen,Wen Qiao, Yan Ye, Yun Zhou, Linsen Chen
  • 通讯作者：
    Su Shen,Wen Qiao, Yan Ye, Yun Zhou, Linsen Chen

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其他文献

纳秒激光刻蚀玻璃基质铬薄膜直写微光栅结构
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    --
  • 作者：
    陈林森
  • 通讯作者：
    陈林森
支持亚波长结构光刻的紫外干涉光学头
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    仪器仪表学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    张恒;浦东林;魏国军;陈林森
  • 通讯作者：
    陈林森
镍金属表面双光束激光干涉直写研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光子学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    张恒;吴智华;方宗豹;陈林森;周云
  • 通讯作者：
    周云
采用亚微米埋入式光栅的彩色滤光片
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光学精密工程
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    叶燕;周云;张恒;陈林森
  • 通讯作者：
    陈林森

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AI项目解读示例

课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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