谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50275009
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:24.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0511.机械测试理论与技术
- 结题年份:2005
- 批准年份:2002
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2003-01-01 至2005-12-31
- 项目参与者:邢维巍; 刘广玉; 蔡晨光; 彭春荣; 邓敏; 龙德帆;
- 关键词:
项目摘要
以电阻激励、压阻拾振的谐振式硅微结构压力传感器为背景,实现硅微传感器在全量程内稳定可靠地以闭环方式工作,保证传感器性能,优化设计微传感器的整体结构参数:激励、拾振电阻的设置与参数以及自激电路的结构开式;针对硅微敏感器实际样性实现微传感器闭环样机。研究工作将突破国外在该技术领域上对我国的封锁,增强独立研制微传感器的能力。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(7)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(8)
专利数量(0)
基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:学技术与工程,Vol.5,No.5,313-315,2005
- 影响因子:--
- 作者:樊尚春;乔少杰
- 通讯作者:乔少杰
硅压阻式传感器的温度特性及其补偿
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:微纳电子技术,Vol.40,总第314/315期:484-488,2003.8
- 影响因子:--
- 作者:樊尚春;彭春荣
- 通讯作者:彭春荣
微传感器最新发展
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:航空计测技术,Vol.23, No.1,2003.2
- 影响因子:--
- 作者:黄俊钦;樊尚春;刘广玉
- 通讯作者:刘广玉
基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:测控技术, Vol.23,No4:5-6,18,2004.4
- 影响因子:--
- 作者:蔡晨光;樊尚春
- 通讯作者:樊尚春
热激励谐振式硅微结构压力传感器
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:科学技术与工程,2004. Vol.5,No.5, 426-429
- 影响因子:--
- 作者:樊尚春
- 通讯作者:樊尚春
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其他文献
声速误差对平面波成像质量的影响
- DOI:10.19708/j.ckjs.2021.02.205
- 发表时间:2021
- 期刊:测控技术
- 影响因子:--
- 作者:张静雅;樊尚春;屈晓磊
- 通讯作者:屈晓磊
科氏质量流量计相位差检测新方法
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:仪器仪表学报, 2005,26(5):441~444
- 影响因子:--
- 作者:郑德智;樊尚春;邢维巍
- 通讯作者:邢维巍
一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Chinese Journal of Sensors and Actuators
- 影响因子:--
- 作者:樊尚春;孙苗苗;李成
- 通讯作者:李成
基于石墨烯膜的光纤Fabry-Perot腔干涉特性分析
- DOI:--
- 发表时间:2014
- 期刊:北京航空航天大学学报
- 影响因子:--
- 作者:郭婷婷;肖俊;樊尚春;靳伟
- 通讯作者:靳伟
科氏质量流量计的非线性影响机理分析与抑制
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:科学技术与工程,Vol.5,No.4,569~571
- 影响因子:--
- 作者:樊尚春;张轩;张庆荣;邢维巍;郑德智
- 通讯作者:郑德智
其他文献
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