形貌缺陷对SiC厚膜外延层载流子寿命的影响机理及缺陷消除的工艺研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:62004133
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:24万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0401.半导体材料
- 结题年份:
- 批准年份:2020
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2020至
- 项目参与者:杨军伟;
- 关键词:
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