超大规模集成电路铜互连线的微结构及尺寸效应研究

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AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    51071098
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    40.0万
  • 负责人：
    张建民
  • 依托单位：
    陕西师范大学
  • 学科分类：
    E0103.金属材料使役行为与表面工程
  • 结题年份：
    2013
  • 批准年份：
    2010
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2011-01-01 至2013-12-31

项目摘要

针对ULSI中广泛使用的铜及其合金互连线，考察膜厚、线宽、晶粒大小等尺寸效应及异质界面约束效应对互连线中的点、线（位错）、面缺陷的形成机理及迁移规律的影响；结合尺寸效应、异质界面约束效应及三种缺陷的影响建立互连线中的晶粒生长理论，导出正常和异常晶粒生长速率公式并用计算机模拟；用扫描电镜、原子力显微镜、透射电镜和X射线衍射观测不同沉积和退火工艺得到的互连线中的晶粒形态、晶粒尺寸及其分布、择优取向和织构，和计算机模拟结果比较；探索互连线中的晶粒生长的主要影响因素及规律及其与整体材料中的异同；通过微结构的设计与优化提高互连线的使用性能和寿命，指导ULSI的制作与应用。

结项摘要

针对ULSI中广泛使用的铜及其合金互连线，考察了膜厚、线宽、晶粒大小等尺寸效应及异质界面约束效应对互连线中的点、线（位错）、面缺陷的形成机理及迁移规律的影响；结合尺寸效应、异质界面约束效应及三种缺陷的影响建立互连线中的晶粒生长理论，导出了正常和异常晶粒生长速率公式并用计算机模拟；用扫描电镜、原子力显微镜、透射电镜和X射线衍射观测不同沉积和退火工艺得到的互连线中的晶粒形态、晶粒尺寸及其分布、择优取向和织构，和计算机模拟结果比较；探索互连线中的晶粒生长的主要影响因素及规律及其与整体材料中的异同；通过微结构的设计与优化提高互连线的使用性能和寿命，指导ULSI的制作与应用。

项目成果

期刊论文数量（22）
专著数量（0）
科研奖励数量（1）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Study of the structural and atomic diffusive properties of the ordered Cu3Au (110) surface
有序Cu3Au(110)表面的结构和原子扩散特性研究
  • DOI：
    10.1002/sia.3738
  • 发表时间：
    2011-12
  • 期刊：
    Surface and Interface Analysis
  • 影响因子：
    1.7
  • 作者：
    Wen, Yan-Ni;Zhang, Yan;Zhang, Jian-Min;Xu, Ke-Wei
  • 通讯作者：
    Xu, Ke-Wei
Structural, electronic and magnetic properties of the 3d transition metal-doped GaN nanotubes
3d过渡金属掺杂GaN纳米管的结构、电子和磁性能
  • DOI：
    10.1016/j.ssc.2010.11.002
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
    Solid State Communications
  • 影响因子：
    2.1
  • 作者：
    Chen, Guo-Xiang;Zhang, Yan;Wang, Dou-Dou;Zhang, Jian-Min;Xu, Ke-Wei
  • 通讯作者：
    Xu, Ke-Wei
First-principles analysis of properties of Cu surfaces
Cu表面特性的第一性原理分析
  • DOI：
    10.7498/aps.61.016108
  • 发表时间：
    2012-01
  • 期刊：
    Acta Physica Sinica
  • 影响因子：
    1
  • 作者：
    Shu Yu;Zhang Yan;Zhang Jian-Min
  • 通讯作者：
    Zhang Jian-Min
Structural and electronic properties of ultrathin copper nanowires: A density-functional theory study
超细铜纳米线的结构和电子特性：密度泛函理论研究
  • DOI：
    10.1016/j.physb.2012.10.032
  • 发表时间：
    2013-02
  • 期刊：
    PHYSICA B-CONDENSED MATTER
  • 影响因子：
    2.8
  • 作者：
    Ma, Liang-Cai;Zhang, Jian-Min;Xu, Ke-Wei
  • 通讯作者：
    Xu, Ke-Wei
Magnetic and electronic properties of Fe/Cu multilayered nanowires: A first-principles investigation
Fe/Cu多层纳米线的磁性和电子特性：第一性原理研究
  • DOI：
    10.1016/j.physe.2013.02.020
  • 发表时间：
    2013-05
  • 期刊：
    PHYSICA E-LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS & NANOSTRUCTURES
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Ma, Liang-Cai;Zhang, Jian-Min;Xu, Ke-Wei
  • 通讯作者：
    Xu, Ke-Wei

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其他文献

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  • 作者：
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  • 通讯作者：
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  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
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  • 影响因子：
    --
  • 作者：
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  • 通讯作者：
    张建民
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  • 期刊：
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  • 通讯作者：
    张建民
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  • 通讯作者：
    张建民
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  • 作者：
    于艺林;童朝霞;张建民
  • 通讯作者：
    张建民

其他文献

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金属薄膜材料的织构及相关性能的研究
  • 批准号：
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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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