准分子激光刻蚀制备微纳尺度滤光薄膜的技术基础研究

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60977028
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    36.0万
  • 负责人：
    吴永刚
  • 依托单位：
    同济大学
  • 学科分类：
    F0502.光子与光电子器件
  • 结题年份：
    2012
  • 批准年份：
    2009
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2010-01-01 至2012-12-31

项目摘要

微纳尺度极紫外与软X射线波长滤光薄膜在空间科学、强激光、微电子、激光等离子体惯性约束聚变实验、短波长标准计量测试等方面有极其重要的应用。本项目首先提出在聚酰亚胺等聚合物薄膜衬底上热蒸发或溅射金属薄膜材料，然后用准分子激光刻蚀方法除去部分或全部的聚合物薄膜，从而获得自支撑微纳尺度金属滤光膜的方法。研究准分子激光刻蚀复合聚合物/金属薄膜过程中的光化学和光物理效应，以及这些效应的深度范围，激光能量、激光波长、脉冲重复频率所导致的对聚合物薄膜的刻蚀机制，刻蚀过程中复合聚合物/金属薄膜的热传导特性，准分子激光刻蚀复合聚合物/金属薄膜时产生的热冲击对自支撑金属薄膜的影响。利用掩膜的方法，探索制备以聚合物作为网衬的金属滤光薄膜，增强滤光膜的强度。利用准分子激光可以精确控制聚合物薄膜刻蚀深度的优点，探索刻蚀制备具有极薄聚合物衬底的超薄金属滤光膜。本项目研究成果还将有助于其它微纳尺度电子和光子学器件的研制。

结项摘要

超薄自支撑有机聚合物及金属薄膜可应用于极紫外与软X射线波长作为滤光元件，在空间科学、强激光、微电子、激光等离子体惯性约束聚变实验、短波长标准计量测试等方面有极其重要的应用。本课题研究中应用准分子激光刻蚀聚合物薄膜以及聚合物/金属复合薄膜。解释了阈值能量附近时准分子激光刻蚀复合聚合物/金属薄膜过程中的光化学和光物理效应，以及这些效应的深度范围，激光能量、脉冲重复频率所导致的对聚合物薄膜的刻蚀机制；证实了在微米级聚酰亚胺薄膜或聚酰亚胺/金属复合薄膜上用准分子激光刻蚀方法减薄聚酰亚胺薄膜，从而获得自支撑微纳尺度聚合物或聚合物/金属复合滤光薄膜的方法的可行性；确定了激光刻蚀亚微米聚酰亚胺薄膜的阈值刻蚀能量；应用多种薄膜与衬底之间的剥离方法，实现了微米级聚合物/金属复合薄膜；应用低激光脉冲能量，多脉冲刻蚀减薄方法，实现了深亚微米聚合物/金属复合薄膜；应用掩膜方法，实现了以聚合物作为网衬的金属滤光薄膜。课题研究成果对于深入理解紫外激光与深亚微米尺度物质相互作用的物理与化学机制，亚微米尺度薄膜与不同材料衬底之间的附着与剥离作用有重要促进作用。

项目成果

期刊论文数量（11）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（8）
专利数量（3）
亚微米AZO光栅及其漫透射分布特性
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    刘仁臣;吴永刚;夏子奂;唐平林;梁钊铭;Liu Renchen Wu Yonggang Xia Zihuan Tang Pinglin Li
  • 通讯作者：
    Liu Renchen Wu Yonggang Xia Zihuan Tang Pinglin Li
自支撑Zr膜制备及软X射线透过性能研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光子学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    伍和云;吴永刚;王振华;吕刚;凌磊婕;夏子奂;陈乃波
  • 通讯作者：
    陈乃波
氧化钨二氧化钛复合共生薄膜的拉曼光谱结构研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光谱学与光谱分析
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    吕刚;吴永刚;伍和云;夏子奂;刘仁臣;Lü Gang1,2,WU Yong-gang2,WU He-yun2,XIA Zi-huan2,L
  • 通讯作者：
    Lü Gang1,2,WU Yong-gang2,WU He-yun2,XIA Zi-huan2,L
自支撑聚酰亚胺/锆膜的制备及性能改善
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    强激光与粒子束
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    伍和云;吴永刚;吕刚;凌磊婕;夏子奂;刘仁臣;唐平林;Wu Heyun,Wu Yonggang,Lü Gang,Ling Leijie,Xia Zihua
  • 通讯作者：
    Wu Heyun,Wu Yonggang,Lü Gang,Ling Leijie,Xia Zihua
正交双光栅结构的导模共振光谱特性
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    王振华;吴永刚;凌磊婕;夏子奂;陈乃波;刘仁臣;Wang Zhenhua Wu Yonggang Ling Leijie Xia Zihuan Ch
  • 通讯作者：
    Wang Zhenhua Wu Yonggang Ling Leijie Xia Zihuan Ch

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--"}}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--" }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--"}}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

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CO在外电场下的分子特性和势能函数研究
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    --
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    --
  • 作者：
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  • 通讯作者：
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Combining Classi ers for Quick Text Classi cation
组合分类器进行快速文本分类
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
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  • 期刊：
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  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    吴永刚;张雷;郑文斌
  • 通讯作者：
    郑文斌
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  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    中国儿童保健杂志，12（1），17-19，2004，2月。
  • 影响因子：
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  • 作者：
    刘军;苏林雁;杜亚松;吴永刚
  • 通讯作者：
    吴永刚
针刺督脉治疗缺血性中风的理论研究
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  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
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  • 作者：
    罗文舒;饶晓丹;曾超高;潘孝锦;吴永刚;于海波;皮敏;杨卓欣
  • 通讯作者：
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(TiO_2)_3团簇分子电致激发特性的密度泛函理论研究
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  • 发表时间：
    2015
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    --
  • 作者：
    郝进欣;吴永刚;李世雄;孙光宇;令狐荣锋
  • 通讯作者：
    令狐荣锋

其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--" }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--"}}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--" }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
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{{ item.name }}
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    {{ item.ratify_no }}
  • 批准年份：
    {{ item.approval_year }}
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    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}

相似海外基金

{{ item.name }}
{{ item.translate_name }}
  • 批准号：
    {{ item.ratify_no }}
  • 财政年份：
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额：
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}
{{ showInfoDetail.title }}

作者：{{ showInfoDetail.author }}

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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