纳米干涉测长中的非线性问题研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50675141
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:30.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0511.机械测试理论与技术
- 结题年份:2009
- 批准年份:2006
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2007-01-01 至2009-12-31
- 项目参与者:戴曙光; 杨永才; 李劲松; 王涛; 王俊; 许琦欣;
- 关键词:
项目摘要
激光干涉仪能够通过光波细分达到亚纳米分辨率,因而在科学研究和精密机械制造中得到了广泛应用。然而,由于光学系统中不可避免的缺陷,导致被测信号中出现附加的相位误差,使测到的相位位移和被测长度不成线性关系。这个随着被测长度以光波波长为周期变化的非线性误差存在于所有的激光干涉仪,一般在一、两个纳米到一、二十个纳米的范围内,成为现有激光干涉仪难以逾越的精度极限。本申请者在多年研究激光干涉仪非线性的基础上,研究出减小和消除激光干涉仪非线性误差的方法。它们可以应用在大部分的科学实验和工业制造中的纳米长度测量中,而且,不论是一阶或二阶误差,也不论是什么原因引起的非线性误差,都可以通过这个方法被消除。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(8)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(4)
专利数量(0)
A simple technique for eliminating the nonlinearity of a heterodyne interferometer
消除外差干涉仪非线性的简单技术
- DOI:10.1088/0957-0233/20/10/105303
- 发表时间:--
- 期刊:Measurement Science & Technology
- 影响因子:--
- 作者:Hu; Haijiang;Zhang; Yunbo;Hou; Wenmei
- 通讯作者:Wenmei
外差激光干涉仪非线性的细分和消除
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:计量学报
- 影响因子:--
- 作者:侯文玫;王俊
- 通讯作者:王俊
分光镜对外差激光干涉仪非线性的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:机械工程学报
- 影响因子:--
- 作者:张运波;侯文玫;许琦欣
- 通讯作者:许琦欣
Advanced research on nonlinearity in heterodyne interferometer
外差干涉仪非线性研究进展
- DOI:10.1117/12.807564
- 发表时间:--
- 期刊:Proc. of SPIE
- 影响因子:--
- 作者:侯文玫;Wenbo Cui
- 通讯作者:Wenbo Cui
基于数字微镜器件的显微镜照明调制系统
- DOI:10.1007/s00281-016-0575-z
- 发表时间:--
- 期刊:仪器仪表学报增刊
- 影响因子:--
- 作者:侯文玫;沈丽艳;许琦欣
- 通讯作者:许琦欣
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--"}}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--" }}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--"}}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
其他文献
全自动在线六维纳米测量系统
- DOI:--
- 发表时间:2013
- 期刊:光学技术
- 影响因子:--
- 作者:胡凯;侯文玫
- 通讯作者:侯文玫
A Heterodyne Interferometer for Simultaneous Measurement of Roll and Straightness
同时测量横摇和直线度的外差干涉仪
- DOI:10.1109/access.2019.2941078
- 发表时间:2019
- 期刊:IEEE Access
- 影响因子:3.9
- 作者:金涛;韩梦莹;刘景林;乐燕芬;侯文玫
- 通讯作者:侯文玫
近紫外波段频分复用荧光显微探测技术研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:光学学报
- 影响因子:--
- 作者:张运波;庄松林;侯文玫;张仁杰;蒋妍梦;郑继红
- 通讯作者:郑继红
线性位移台直线度高精度外差干涉测量装置
- DOI:--
- 发表时间:2018
- 期刊:光学精密工程
- 影响因子:--
- 作者:金涛;刘景林;杨卫;乐燕芬;侯文玫
- 通讯作者:侯文玫
A heterodyne interferometer for simultaneous measurement of roll and straightness
用于同时测量横摆度和直线度的外差干涉仪
- DOI:--
- 发表时间:2019
- 期刊:IEEE Access
- 影响因子:3.9
- 作者:金涛;韩梦莹;刘景林;乐燕芬;侯文玫
- 通讯作者:侯文玫
其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--" }}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--"}}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--" }}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
内容获取失败,请点击重试
查看分析示例
此项目为已结题,我已根据课题信息分析并撰写以下内容,帮您拓宽课题思路:
AI项目摘要
AI项目思路
AI技术路线图
请为本次AI项目解读的内容对您的实用性打分
非常不实用
非常实用
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
您认为此功能如何分析更能满足您的需求,请填写您的反馈:
侯文玫的其他基金
高精密小滚转角干涉测量方法的研究
- 批准号:51075280
- 批准年份:2010
- 资助金额:40.0 万元
- 项目类别:面上项目
相似国自然基金
{{ item.name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 批准年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}
相似海外基金
{{
item.name }}
{{ item.translate_name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 财政年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}