光电化学方法处理半导体制造设备工业中废气PFCs的探索性研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:29877003
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:13.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:B0603.大气污染与控制化学
- 结题年份:2001
- 批准年份:1998
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1999-01-01 至2001-12-31
- 项目参与者:李卫华; 叶于浦; 刘淑珍; 高恩勤; 乔学斌;
- 关键词:
项目摘要
探索采用光电化学方法处理半导体工业废气PFCs(Perfluorocompands)的技术可行性。进行金属光电子注入法(PIMES)还原PFCs机理方面的研究。验证并完善实验室条件下PIMES法还原SF6,NF3的实验技术,收集有关数据,寻找最佳反应条件,并以此为基础进一步研究应用此方法处理氟烷烃(PerfluoroCarbons)的技术可行性。最终为光电化学方法在解决大肪澄廴痉矫娴挠τ媒刑剿餍匝芯俊
结项摘要
项目成果
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- 作者:高恩勤;张莉;杨迈之;蔡生民
- 通讯作者:蔡生民
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