利用电晕放电控制化学气相沉积输运过程的探索

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60376006
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    26.0万
  • 负责人：
    左然
  • 依托单位：
    江苏大学
  • 学科分类：
    F0401.半导体材料
  • 结题年份：
    2006
  • 批准年份：
    2003
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2004-01-01 至2006-12-31

项目摘要

化学气相沉积（包括CVD和MOCVD）生长单晶和多晶薄膜，是制备微电子和光电器件的一项关键工艺。控制CVD反应器中气体的输运过程，获得基片上方均匀的流场和温场分布,对于薄膜的生长质量和生长速率至关重要，也是现代CVD反应器设计的最基本的要求。本项目提出一种全新的控制CVD反应器内气体输运过程的方案，即在CVD反应器中加入电晕放电装置，利用电晕等离子体使气体荷电，再利用外加电场来影响带电气体的流动，使基片上方保持均匀的层流流动和均匀的基片温度，从而获得一种比目前的机械旋转和分层流更好的控制气体输运的方法,得到更好的薄膜生长质量和更快的薄膜生长速率。该项研究有望导致一种更优的CVD反应器的问世。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（8）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（3）
专利数量（0）
Design of a reverse flow showe
一种逆流式淋浴器的设计
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    R.Zuo, Q.Xu, H.Zhang
  • 通讯作者：
    R.Zuo, Q.Xu, H.Zhang
反向流动垂直喷淋式MOCVD反应器
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    人工晶体学报，已接受，2005年5期发表
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    徐谦;左然
  • 通讯作者：
    左然
A novel approach to control th
一种新颖的方法来控制
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    左然;徐谦;张荣
  • 通讯作者：
    张荣
径向流动MOCVD输运过程的数值模
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    人工晶体学报，2005，34（6）
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    左然;张红;徐谦
  • 通讯作者：
    徐谦
径向三重流MOCVD反应器输运过程
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    半导体学报，2005，26(5)
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    左然;张红;刘祥林
  • 通讯作者：
    刘祥林

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其他文献

垂直转盘式MOCVD反应器进口温度对GaN生长的影响
  • DOI：
    10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2015.10.026
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
    人工晶体学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    左然;王宗琪;陈鹏
  • 通讯作者：
    陈鹏
拟南芥Psrp-4基因参与光合作用机制的研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2012
  • 期刊：
    基因组学与应用生物学
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    左然;徐美玲;温泽文;张东远
  • 通讯作者：
    张东远
MOCVD生长GaN加合反应路径的密度泛函理论研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
    中国科学E辑
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    师珺草;左然;孟素慈
  • 通讯作者：
    孟素慈
不同驱动力对CZ法熔体对流影响的数值模拟研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    人工晶体学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    苏文佳;左然;程晓农;狄晨莹
  • 通讯作者：
    狄晨莹
GaN的MOVPE生长中台阶表面吸附的量子化学计算
  • DOI：
    10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2018.07.003
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
    人工晶体学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    张周;左然;唐斌龙;袁银梅;张红
  • 通讯作者：
    张红

其他文献

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左然的其他基金

氮化镓MOCVD生长中的化学反应与反应器设计的关系研究
  • 批准号：
    61474058
  • 批准年份：
    2014
  • 资助金额：
    74.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目
氮化镓MOCVD生长中的气相寄生反应研究
  • 批准号：
    61176009
  • 批准年份：
    2011
  • 资助金额：
    61.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目

相似国自然基金

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相似海外基金

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AI项目解读示例

课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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