同步辐射辅助光化学气相沉积技术研究及应用
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:10575099
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:35.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A3010.核技术在其他领域中的应用
- 结题年份:2008
- 批准年份:2005
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2006-01-01 至2008-12-31
- 项目参与者:石军岩; 宫晓梅; 符义兵; 吴文清; 赵玉杰;
- 关键词:
项目摘要
光化学气相沉积(Photo-assisted CVD)可以大幅度降低薄膜生长的温度,避免其他CVD中的高温生长所产生的界面原子扩散、热应力等问题,并且可以针对反应气体特定能级作选择激发,有利于控制薄膜生长过程,极大地提高薄膜的质量,因此,这一技术正受到越来越多关注。本项目拟利用同步辐射产生的高强度、波长可调谐的真空紫外光作激发光源,开展同步辐射光辅助的CVD(SR-CVD)技术研究;并结合p型掺杂ZnO薄膜等的SR-CVD制备,研究光CVD中气体分解、碎片的形成、在基片上沉积等过程的物理化学问题,探索SR-CVD应用于先进薄膜材料制备和光CVD薄膜生长机理研究的方法,并争取制备出高质量p型掺杂ZnO薄膜。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(12)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Low temperature spectral properties of several Pr3+ doped borates under VUV excitation
VUV 激发下几种 Pr3 掺杂硼酸盐的低温光谱特性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:无机材料学报
- 影响因子:--
- 作者:Fu Yi-Bing;Wu Wen-Qing;Shi Chao-Shu;Zhang Guo-Bin;Qi Ze-Ming;Shi Jun-Yan
- 通讯作者:Shi Jun-Yan
同步辐射红外显微光谱技术及其应用
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:材料导报
- 影响因子:--
- 作者:盛六四;王卫;李承祥;张国斌
- 通讯作者:张国斌
脉冲激光沉积有机薄膜
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:材料导报
- 影响因子:--
- 作者:张国斌;盛六四;王淑芬;李承祥;王卫
- 通讯作者:王卫
Synchrotron Radiation Vacuum Ultraviolet Photoionization and Photodissociation of Diethylzinc
二乙基锌的同步辐射真空紫外光电离和光解
- DOI:10.3866/pku.whxb20081006
- 发表时间:2008-09
- 期刊:物理化学学报
- 影响因子:--
- 作者:Sheng Liu-Si;Zhang Guo-Bin;Liu Fu-Yi;Yang Guang-Tao;Han Ju-Guang;Du Qi;Shan Xiao-Bin
- 通讯作者:Shan Xiao-Bin
Study on Atomic Fluorescence Spectrometry Excited by Synchrotron Radiation
同步辐射激发原子荧光光谱研究
- DOI:10.1088/1674-0068/21/05/427-432
- 发表时间:2008-10
- 期刊:CHINESE JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS
- 影响因子:1
- 作者:Wu-er Gan;Guo-bin Zhang;Jia-jia Guo;Qing-de Su
- 通讯作者:Qing-de Su
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- 影响因子:--
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- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:发光学报
- 影响因子:--
- 作者:韩正甫;施朝淑;张国斌
- 通讯作者:张国斌
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- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:发光学报
- 影响因子:--
- 作者:潘国强;ZHONG Jiu-ping;石军岩;PAN Guo-qiang;钟玖平;TIAN Zi-feng;LIANG Hong-bin;ZHANG Guo-bin;田梓峰;张国斌;梁宏斌;苏锵;SU Qiang;SHI Jun-yan
- 通讯作者:SHI Jun-yan
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- DOI:--
- 发表时间:--
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- 影响因子:--
- 作者:梁宏斌;ZHONG Jiu-ping;PAN Guo-qiang;ZHANG Guo-bin;SHI Jun-yan;SU Qiang;田梓峰;钟玖平;潘国强;张国斌;石军岩;苏锵;LIANG Hong-bin;TIAN Zi-feng
- 通讯作者:TIAN Zi-feng
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- DOI:--
- 发表时间:2020
- 期刊:浙江农业学报
- 影响因子:--
- 作者:金宁;吕剑;郁继华;金莉;张国斌;肖雪梅;胡琳莉
- 通讯作者:胡琳莉
其他文献
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