PMMA反应离子深刻蚀加工及其侧壁钝化技术的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50075055
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:16.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0512.微纳机械系统
- 结题年份:2003
- 批准年份:2000
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2001-01-01 至2003-12-31
- 项目参与者:俞爱斌; 王莉; 郭晓芸; 禹金强;
- 关键词:
项目摘要
高深宽比加工工艺是微机械加工领域内研究重点之一。本项目尝试用反应离子深刻蚀技术队聚甲基丙酸进行深刻蚀,希望能获得可做为电铸模具的高深宽比微结构,并对其刻蚀机理进行研究。在此基础上,利用反应离子深刻蚀技术,对有机玻璃薄片进行深刻蚀,希望可以直接获得塑料三维微结构,以此探索道一种经济实用的高深宽比微加工工艺。
结项摘要
项目成果
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