大尺寸CVD金刚石单晶的快速生长及其硼掺杂特性的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50772041
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:32.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0203.碳素材料与超硬材料
- 结题年份:2010
- 批准年份:2007
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2008-01-01 至2010-12-31
- 项目参与者:吕宪义; 张剑; 李英爱; 高世勇; 杨旭昕; 王启亮; 成绍恒;
- 关键词:
项目摘要
本课题采用微波等离子体化学气相沉积(MW-PCVD)方法,在金刚石单晶籽晶上同质外延快速生长大尺寸金刚石单晶。研究反应室压强、等离子体密度、气体流量比(氢气:甲烷:氮气)、基底温度等制备参数对金刚石单晶生长速率和品质的影响,探索最佳工艺条件,研究生长规律,以期获得生长速率大于100μm/h,尺寸为10mm×10mm的高品质金刚石单晶。通过分析氮在单晶内的分布,探讨掺氮对提高生长速率影响的物理机制。在CVD金刚石单晶研究基础上,通过有效的硼掺杂,获得p-型金刚石半导体单晶。深入研究CVD金刚石单晶的结构及缺陷和杂质性质,以及相应的光电等特性。通过本课题的实施,解决CVD方法快速生长大尺寸金刚石单晶及其掺杂等的关键技术问题,为新一代以金刚石为基的半导体电子、光电子器件研究奠定基础。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(12)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(2)
Synthesis and properties of boron doped ZnO nanorods on silicon substrate by low-temperature hydrothermal reaction
硅基硼掺杂ZnO纳米棒的低温水热反应合成及性能
- DOI:10.1016/j.apsusc.2011.01.081
- 发表时间:2011-05
- 期刊:Applied Surface Science
- 影响因子:6.7
- 作者:Qi Yu;Hongdong Li;D;an Sang;Shiyong Gao;Liuan Li;Pinwen Zhu;Jujun Yuan
- 通讯作者:Jujun Yuan
Growth and characteristics of ZnO films on growth side of freestanding diamond substrate dependent on buffer layer thickness
独立式金刚石基板生长侧 ZnO 薄膜的生长和特性取决于缓冲层厚度
- DOI:10.1016/j.tsf.2010.03.071
- 发表时间:2010-07
- 期刊:Thin Solid Films
- 影响因子:2.1
- 作者:Zou Guangtian;Li Yingai;Ren Shiyuan;Lv Xianyi;Li Hongdong;Liu Junwei;Yang Xuxin;Gao Shiyong
- 通讯作者:Gao Shiyong
Hydrothermal synthesis, characterization and properties of TiO2 nanorods on boron-doped diamond film
硼掺杂金刚石薄膜上TiO2纳米棒的水热合成、表征及性能
- DOI:10.1016/j.matlet.2010.06.033
- 发表时间:2010-09
- 期刊:Materials Letters
- 影响因子:3
- 作者:Yuan J. J.;Gao S. Y.;Li L. A.;Lu D.;Sang D. D.;Li H. D.
- 通讯作者:Li H. D.
Dependence of reaction pressure on deposition and properties of boron-doped freestanding diamond films
反应压力对硼掺杂独立式金刚石薄膜沉积和性能的依赖性
- DOI:10.1016/j.apsusc.2009.09.109
- 发表时间:2010-01-01
- 期刊:APPLIED SURFACE SCIENCE
- 影响因子:6.7
- 作者:Li, Liuan;Li, Hongdong;Zou, Guangtian
- 通讯作者:Zou, Guangtian
Composited BCN/carbon fibers prepared by hot-filament chemical vapor deposition
热丝化学气相沉积法制备BCN/碳纤维复合材料
- DOI:10.1016/j.apsusc.2011.01.004
- 发表时间:2011-03-15
- 期刊:APPLIED SURFACE SCIENCE
- 影响因子:6.7
- 作者:Lue, Jiannan;Li, Hongdong;Li, Yingai
- 通讯作者:Li, Yingai
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- 期刊:J Cancer
- 影响因子:--
- 作者:程军;宋学坤;敖露;陈柔;池美容;郭有;张佳辉;李红东;赵文媛;郭政;王先龙
- 通讯作者:王先龙
其他文献
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