激光淀积类金刚石-金刚石膜生长过程原位光发射谱研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:59771022
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:11.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0103.金属材料使役行为与表面工程
- 结题年份:2000
- 批准年份:1997
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1998-01-01 至2000-12-31
- 项目参与者:方容川; 崔景彪; 赵冬来; 李鹏; 廖源; 叶祉渊; 叶锋; 常超;
- 关键词:
项目摘要
建立了一套先进的脉冲激光淀积系统(PLD),包括进口的Nd;YAG四倍频脉冲激光器、超高真空样品室和原位光发射谱诊断设备。用此设备生长出类金刚石和金刚石薄膜,用喇曼光变等方法表征所生长材料的结构和成份,研究了从类金刚石到金刚石转变的过程,生长气氛、衬底温度、激光波长和能量是造成这个转变的主要因素。利用本装置生长出含量超过95%的金刚石膜的优化条件是:氢气分压90到100Pa,电离偏压700伏,衬底温度750℃,激光波长266纳米,峰值能量60毫焦耳。用空间分辨CCD光谱仪原位检测了生长过程气相基团的种类及其空间分布,发现原子氢在生长表面基本上耗尽,说明原子氢用于刻蚀非金刚石成分,对金刚石成分的生长起关键作用。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
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数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--"}}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--" }}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--"}}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
其他文献
核壳型纳米SiO2改性含氟聚丙烯酸酯乳液稳定性的研究
- DOI:--
- 发表时间:2014
- 期刊:化工新型材料
- 影响因子:--
- 作者:周建华;段昊;马玉蓉
- 通讯作者:马玉蓉
其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--" }}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--"}}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--" }}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}

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{{ item.name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 批准年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}
相似海外基金
{{
item.name }}
{{ item.translate_name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 财政年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}