屏蔽膜板随动式高深宽比微细电铸技术
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50375073
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:28.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0509.加工制造
- 结题年份:2006
- 批准年份:2003
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2004-01-01 至2006-12-31
- 项目参与者:孙春华; 张文峰; 杨建明; 明平美; 徐惠宇; 王蕾; 徐正阳;
- 关键词:
项目摘要
本课题提出屏蔽模板随动式微细电铸技术,可以制造高深宽比金属微细结构件。该方法采取与LIGA技术相近的工艺步骤,但是技术内涵显著不同。主要创新点在于屏蔽模板/感光胶层随电沉积层的增加而微量移动,从而可以用厚度有限的感光胶层制造出原理上高度不受限制的金属沉积层。实现随动微细电铸有两种方案。第一种方案将表面覆有特定图案感光胶的阳极安装在精密数控平台上。在微细电铸过程中,表面覆有特定图案感光胶的阳极周期性往复微量移动。这样周而复始的过程使沉积金属沿一空间包络壁面定向生长,从而可以获得高深宽比微细结构件。第二种方案感光胶层涂覆在一绝缘材料微孔板上,在沉积过程中,微孔板随电沉积层厚度增加而缓慢移动,金属离子通过微孔板在感光胶层镂空部位对应的阴极上生长出微细结构。该技术可望解决许多领域的微细加工难题,也将在微机电系统领域得到应用。该项技术属首次提出,研究工作将获得具有自主知识产权的原创性成果。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(3)
专利数量(0)
基于UV-LIGA技术的电涡流传感器
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:中国机械工程(已录用)
- 影响因子:--
- 作者:郑晓虎;朱荻
- 通讯作者:朱荻
模糊神经网络在UV-LIGA工艺优化
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:光学精密工程,2006,14(1):139~144
- 影响因子:--
- 作者:郑晓虎;朱荻
- 通讯作者:朱荻
屏蔽膜板随动式微细电铸技术基础
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:中国机械工程(已录用)
- 影响因子:--
- 作者:曾永彬;朱荻;明平美;胡洋洋
- 通讯作者:胡洋洋
电化学腐蚀法加工微圆柱体
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:机械工程学报,2006,Vol.42(6):128~132
- 影响因子:--
- 作者:王明环;朱荻;张朝阳
- 通讯作者:张朝阳
基于BP神经网络的SU-8光刻胶工艺
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:机械科学与技术,2006,25 (9) :1082~1084
- 影响因子:--
- 作者:曾永彬;朱荻;明平美;胡洋洋
- 通讯作者:胡洋洋
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