SiGe/Si肖特基异质结双极型晶体管的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:69476033
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:8.4万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0404.半导体电子器件与集成
- 结题年份:1997
- 批准年份:1994
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1995-01-01 至1997-12-31
- 项目参与者:谢孟贤; 赵建民; 夏建新; 唐自荣; 鲁子顺; 姜岩;
- 关键词:
项目摘要
本项目研究提出并验证了一种新型晶体管结构-肖特基异质结双极晶体管(SHBT)。它采用一层极薄的宽禁带材料发射区,减小发射区串联电阻和发射区少子渡越时间。设计并研制出SiGe SHBT,npn管达ft≥15GHz、pnp管fT≥6GHz,达到了预定目标。此外,研制出微波功率SiGe SHBT达fo=1GHz,Pout≥4.5W,Kp≥6.1dB;开展SiGe和Si二极管对比实验,前者反向恢复时间toff=20ns,后者toff=940ns。总结出异质发射结界面处理方法,稳定的获得BVceo=BVcbo,使BVceo显著提高,该技术已应用到工厂高压功率BSIT生产中,取得很好的效益。在SHBT理论指导下,提出四项异质结新器件的中国发明专利申请,中国专利局已公告,开拓了窄禁带发射区HBT研究新领域,转让专利技术一项。
结项摘要
项目成果
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