在电子回旋共振等离子体中区域高浓度生长氮化镓的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:59872050
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:11.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0206.功能陶瓷
- 结题年份:2001
- 批准年份:1998
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1999-01-01 至2001-12-31
- 项目参与者:江德仪; 陈广超; 杜小龙;
- 关键词:
项目摘要
在电子回旋共振等离子体(ECRP)中,应用金属有机化合物汽相沉积法(MOCVD)来生长高柿康牡兀℅aN)薄膜。通过在衬底表面局部空间高浓度镓、氮的方法,得到高的薄膜生长速率,同时降低衬底温度,并获得高质量的材料,从而为微电子工业研制新型的发兰光二极管和兰光激光器提出了一种新的MOCVD法。同时,对结果进行物理、化学分析。.
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--"}}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--" }}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--"}}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
其他文献
等离子体鞘物理
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:物理学进展
- 影响因子:--
- 作者:姚鑫兹
- 通讯作者:姚鑫兹
用于大面积薄膜研究的微波等离子体装置
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:核聚变与等离子体物理
- 影响因子:--
- 作者:任育峰;姚鑫兹
- 通讯作者:姚鑫兹
其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--" }}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--"}}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--" }}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
内容获取失败,请点击重试
查看分析示例
此项目为已结题,我已根据课题信息分析并撰写以下内容,帮您拓宽课题思路:
AI项目摘要
AI项目思路
AI技术路线图
请为本次AI项目解读的内容对您的实用性打分
非常不实用
非常实用
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
您认为此功能如何分析更能满足您的需求,请填写您的反馈:
姚鑫兹的其他基金
在电子回旋共振等离子体中等离子体鞘的研究
- 批准号:19175066
- 批准年份:1991
- 资助金额:4.0 万元
- 项目类别:面上项目
相似国自然基金
{{ item.name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 批准年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}
相似海外基金
{{
item.name }}
{{ item.translate_name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 财政年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}