提高并行式共焦测量系统信噪比和灵敏度的新技术
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:60077031
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:15.4万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0501.光学信息获取、显示与处理
- 结题年份:2003
- 批准年份:2000
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2001-01-01 至2003-12-31
- 项目参与者:谭玉山; 孔兵; 李根乾; 李鸣明; 牛伸克; 弥宁;
- 关键词:
项目摘要
普通显微镜与扫描电子显微镜都已不可能完全满足半导体芯片在线检测的要求。共焦扫描显微镜填补了它们中间的空白,而且它在医学、生命科学、精细加工等领域也有广泛地用途。本项目提出一种全新的并行式的共焦非扫描测量方法,该方法具有现有共焦测量方法的优势外,还具有快速、高精度、易于消除杂散光以及结构简单等特点。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(1)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
集成光纤束并行共焦测量
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:中国激光
- 影响因子:--
- 作者:王昭;朱升成;谭玉山
- 通讯作者:谭玉山
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