一种新的三维悬浮碳微纳结构制备方法研究

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项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号:
    50875103
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    33.0万
  • 负责人:
  • 依托单位:
  • 学科分类:
    E0512.微纳机械系统
  • 结题年份:
    2011
  • 批准年份:
    2008
  • 项目状态:
    已结题
  • 起止时间:
    2009-01-01 至2011-12-31

项目摘要

三维悬浮碳微纳结构的制备有助于碳微纳结构特性的纳米级精确测量,并作为互联结构在医学、生物和微纳电子器件及系统的三维集成中有广泛的应用前景。在光刻胶中掺入特殊纳米颗粒(如纳米线或球等),纳米颗粒的掩模效应将导致常规厚胶光刻工艺制备的三维微结构上端衍生出新的微纳米级悬浮结构。纳米颗粒在光刻胶中的分布、尺寸大小等因素将影响悬浮结构的生成特征。为此本项目提出基于厚胶光刻的掩模效应制备三维悬浮碳微纳结构的新方法。着重开展掩模效应下的三维悬浮碳微纳结构的生成过程、生成机理和制备工艺的控制和优化等研究。通过厚胶光刻曝光过程的掩模效应的理论建模、计算机模拟和实验相结合研究三维悬浮微纳结构的生成过程和机理;通过掩模颗粒材料的选择、工艺参数的优化设计和特征实验探索三维悬浮碳微纳结构的新制备工艺。为三维碳微纳结构制备提供新的理论、方法和工具,丰富我国微纳制造的基础理论,并有力推动我国微纳制造技术的完善和发展。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量(20)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(5)
专利数量(5)
An optimized process for fabrication of high-aspect-ratio photoresist-derived carbon microelectrode array on silicon substrate
硅衬底上高深宽比光刻胶衍生碳微电极阵列制造的优化工艺
  • DOI:
    10.1016/j.tsf.2009.09.048
  • 发表时间:
    2010-03
  • 期刊:
    Thin Solid Films
  • 影响因子:
    2.1
  • 作者:
    Tang, Zirong;Liu, Shiyuan;Shi, Tielin;Gong, Jie;Nie, Lei
  • 通讯作者:
    Nie, Lei
Effect of nanoscale surface topography on low temperature direct wafer bonding process with UV activation
纳米级表面形貌对紫外激活低温直接晶圆键合工艺的影响
  • DOI:
    10.1016/j.sna.2009.01.023
  • 发表时间:
    2009-04
  • 期刊:
    Sensors and Actuators A-Physical
  • 影响因子:
    4.6
  • 作者:
    Shi, Tielin;Liao, Guanglan;Liu, Shiyuan;Peng, Ping;Nie, Lei;Tang, Zirong
  • 通讯作者:
    Tang, Zirong
A boost-up method of MEMS-bulk-micromachining towards C-MEMS fabrication for sensing and manipulating bioparticles
用于传感和操纵生物颗粒的 MEMS 体微机械加工 C-MEMS 制造的增强方法
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
    Defect and Diffusion Forum
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    Zirong Tang;M. Rizwan Malik;M. Haseeb;Tielin Shi
  • 通讯作者:
    Tielin Shi
A Novel Approach to Fabricate 3-Dimensional Carbon-based Interconnect for Micro/nano Optoelectronic Integration
一种制造用于微/纳米光电集成的三维碳基互连的新方法
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
    Proc. of SPIE
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    Guanglan Liao;Ping Peng;Zirong Tang;Yuanyuan Yao;Jie Gong;Tielin Shi
  • 通讯作者:
    Tielin Shi
Optical and Thermal Modeling of Ultraviolet-LED Arrays Packaging for Curing Application
用于固化应用的紫外 LED 阵列封装的光学和热建模
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
    Proc. of SPIE
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    Tielin Shi;Lei Nie;Guanglan Liao;Zirong Tang;Hai Liu
  • 通讯作者:
    Hai Liu

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi || "--"}}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year || "--" }}
  • 期刊:
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子:
    {{ item.factor || "--"}}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

其他文献

无压力辅助硅/玻璃激光局部键合
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  • 影响因子:
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  • 作者:
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  • 通讯作者:
    史铁林
晶片键合质量的红外检测系统设计
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
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  • 期刊:
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  • 影响因子:
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  • 作者:
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  • 通讯作者:
    汤自荣
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    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
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  • 通讯作者:
    林晓辉
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  • 作者:
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  • 发表时间:
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  • 期刊:
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  • 影响因子:
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  • 作者:
    汤自荣;史铁林;王美成;史玉平;廖广兰;聂磊
  • 通讯作者:
    聂磊

其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi || "--" }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year || "--"}}
  • 期刊:
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子:
    {{ item.factor || "--" }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}
empty
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{{ item.name }}
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    {{ item.ratify_no }}
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    {{ item.approval_year }}
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    {{ item.support_num }}
  • 项目类别:
    {{ item.project_type }}

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{{ item.name }}
{{ item.translate_name }}
  • 批准号:
    {{ item.ratify_no }}
  • 财政年份:
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额:
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别:
    {{ item.project_type }}
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

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课题项目:调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要:

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题,其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子,其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而,TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用,影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法,探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用,为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义,并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路:

科学问题:TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达?
前期研究:已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应,但其具体机制尚不明确。
研究创新点:本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线:包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术:TRIM2与病毒RNA的相互作用分析,IFN-β启动子活性检测。
实验模型:使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
      
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