空间应力作用下的金属薄膜微电极韧性-蠕变断裂机理及解决方法研究

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号:
    50605006
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
  • 资助金额:
    26.0万
  • 负责人:
  • 依托单位:
  • 学科分类:
    E0512.微纳机械系统
  • 结题年份:
    2009
  • 批准年份:
    2006
  • 项目状态:
    已结题
  • 起止时间:
    2007-01-01 至2009-12-31

项目摘要

在聚合物电化学检测毛细管电泳芯片热压键合过程中,金属薄膜微电极在盖片与基片的交界处极易发生断裂,在对断裂模式和断裂原因进行分析的基础上,提出采用断口分析和分子动力学模拟分析两种方法对该断裂机理进行研究。为了解决电极断裂问题,首次提出一种电极加热辅助真空热压键合方法。在进行芯片热压键合时,对电极进行通电加热,为了避免电极氧化,使键合过程在真空环境下进行。建立芯片的电极加热辅助真空热压键合模型,利用有限单元法进行数值分析,分析的结果用于指导键合工艺的设计和优化。研制出多种集成金属薄膜微电极的聚合物电化学检测毛细管电泳芯片。.目前国内外尚未见有同类研究的报道,本项目研究成果将促进聚合物电化学检测毛细管电泳芯片走向批量化、实用化,对于聚合物MEMS封装同样具有重要的理论意义和实际应用价值。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(1)
专利数量(0)
Plasma assisted thermal bonding for PMMA microfluidic chips with integrated metal microelectrodes
具有集成金属微电极的 PMMA 微流控芯片的等离子体辅助热粘合
  • DOI:
    10.1016/j.snb.2009.07.032
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
  • 通讯作者:
Fracture mechanism of metal electrode integrated on a chip and fabrication of a poly(ethylene terephthalate) electrophoresis microchip
芯片上集成金属电极的断裂机理及聚对苯二甲酸乙二醇酯电泳微芯片的制作
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
  • 通讯作者:
Research on forming and application of U-form glass micro-nanofluidic chip with long nanochannels
长纳米通道U型玻璃微纳流控芯片的成型及应用研究
  • DOI:
    10.1007/s10404-009-0407-8
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
  • 通讯作者:
基于元胞自动机算法的三维玻璃微流控芯片湿法刻蚀模拟研究
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
    计算机学报, 2008, 31: 868-874.
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
  • 通讯作者:
聚合物微纳结构热压机的温度控制策略研究
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
    微纳电子技术, 2008, 45: 45-50.
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
  • 通讯作者:

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其他文献

工艺参数对平板微小器件注塑翘曲的影响
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
    光学精密工程
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    徐征;王继章;吕治斌;刘军山;王林刚
  • 通讯作者:
    王林刚
基于ARM9的便携式电容耦合非接触电导检测器
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
    分析化学
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    刘军山;王宁;徐征;安良坤;徐飞;严小冲;刘冲;王立鼎
  • 通讯作者:
    王立鼎
工艺参数对平板微小器件注塑翘曲的影响
  • DOI:
    10.1002/hep.30059
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
    光学精密工程
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    徐征;王继章;吕治斌;刘军山;王林刚
  • 通讯作者:
    王林刚
基于ARM9的便携式电容耦合非接触电导检测器
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
    分析化学
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    刘军山;王宁;徐征;安良坤;徐飞;严小冲;刘冲;王立鼎
  • 通讯作者:
    王立鼎
一种新颖的微纳流体器件制造方法与痕量富集应
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
    分析化学
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    徐征;李永奎;王俊尧;刘冲;刘军山;陈莉;王立鼎
  • 通讯作者:
    王立鼎

其他文献

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AI项目思路

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刘军山的其他基金

基于光刻控制中性层的柔性聚合物表面金属纳米裂纹制造研究
  • 批准号:
    51875083
  • 批准年份:
    2018
  • 资助金额:
    60.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目
基于纳米粒子改性的弹性基底上金属微电极制造理论与方法研究
  • 批准号:
    51475080
  • 批准年份:
    2014
  • 资助金额:
    85.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目
基于紫外光刻的聚合物二维纳米模具及其复制成形理论与方法研究
  • 批准号:
    51075056
  • 批准年份:
    2010
  • 资助金额:
    38.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目

相似国自然基金

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  • 批准号:
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  • 批准年份:
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  • 资助金额:
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相似海外基金

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  • 财政年份:
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  • 项目类别:
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作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了

AI项目解读示例

课题项目:调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要:

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题,其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子,其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而,TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用,影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法,探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用,为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义,并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路:

科学问题:TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达?
前期研究:已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应,但其具体机制尚不明确。
研究创新点:本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线:包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术:TRIM2与病毒RNA的相互作用分析,IFN-β启动子活性检测。
实验模型:使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
      
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