蓝光功能薄膜材料的低温等离子体制备和研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:10575039
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:20.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A2907.低温等离子体
- 结题年份:2007
- 批准年份:2005
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2006-01-01 至2007-12-31
- 项目参与者:吴先球; 符斯列; 孙番典; 叶穗红; 蒙高庆; 向鹏飞; 李赟; 张茂平;
- 关键词:
项目摘要
半导体材料的发光多色化和高亮度化是光电子材料和器件研究中的前沿课题。直接宽带隙GaN材料具有制备纯蓝光器件所要求的光电特性。其发射的纯蓝光与红、绿光构成白光的三基色。GaN基LED具有高亮度、低能耗、高寿命的特点。由于MOCVD和LPE技术生长GaN基材的生长温度高达1050度左右,从而限制了这些技术的应用。为了解决沉积温度高的问题,本课题组采用微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积(E
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(12)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(3)
专利数量(0)
电子回旋共振等离子体空间分布诊
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:(编号200507-123)。中国科技论文在线(http://www.paper.edu.cn)
- 影响因子:--
- 作者:符斯列;陈俊芳等。
- 通讯作者:陈俊芳等。
Spatial Distribution of ECR Pl
ECR Pl的空间分布
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Fu Silie, Chen Junfang, et al.
- 通讯作者:Fu Silie, Chen Junfang, et al.
Study on the Characteristics o
其特点研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:LI Zubing;LI Zhi;SHANG Zheng
- 通讯作者:SHANG Zheng
微波ECR等离子体化学气相沉积GaN
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:(编号200507-122)中国科技论文在线(http://www.paper.edu.cn )
- 影响因子:--
- 作者:陈俊芳;符斯列 等。
- 通讯作者:符斯列 等。
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