硅基含铜铁电薄膜异质结集成研究

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项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60876055
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    33.0万
  • 负责人：
    刘保亭
  • 依托单位：
    河北大学
  • 学科分类：
    F0404.半导体电子器件与集成
  • 结题年份：
    2011
  • 批准年份：
    2008
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2009-01-01 至2011-12-31

项目摘要

本项目以实现含铜硅基铁电器件尤其是铁电存储器的集成为目的，应用磁控溅射和溶胶凝胶沉积法，借助Ni-Al等金属间化合物薄膜作阻挡层，在硅衬底上生长Cu薄膜，研究Ni-Al等的组分、结晶状态、厚度、杂质含量等对Cu薄膜的结构、界面状态、输运性质等影响，探讨Ni-Al等金属间化合物薄膜用作阻挡层的失效机理。应用透射电镜、X射线衍射等技术研究Cu薄膜上面继续生长氧化物铁电薄膜异质结后的结构、应力、界面、成分等，揭示硅基复合集成异质结的微结构、界面与生长温度等的关系。应用第一性原理研究金属间化合物薄膜杂质的影响和界面性质。通过光刻等手段制备铁电电容器，进行疲劳、保持等铁电性能的研究。本项目的完成可以为金属间化合物阻挡层的研究提供基础，发现能够满足氧化物铁电薄膜异质结、Cu薄膜和Si衬底同时集成的阻挡层材料，对含Cu硅基铁电器件的发展具有重要意义。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（42）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
氢对PbZr0.5Ti0.5O3在氮氢混合气氛退火中铁电性能的影响
  • DOI：
    10.3866/pku.whxb20090133
  • 发表时间：
    2008-12
  • 期刊：
    赵庆勋, 耿波, 王书彪, 边芳, 关丽, 刘保亭, “氢对PbZr0.5Ti0.5O3在氮氢混合气氛退火中铁电性能的影响”，物理化学学报，29 183-186 (2009).
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
  • 通讯作者：
Barrier Performance of Various Thick Polycrystalline Ni–Al Films for Integrating PbZr0.4Ti0.6O3 Capacitors on Si
用于Si上集成PbZr0.4Ti0.6O3电容器的各种厚多晶Ni-Al薄膜的势垒性能
  • DOI：
    10.1149/1.3365060
  • 发表时间：
    2010-06
  • 期刊：
    Journal of The Electrochemical Society
  • 影响因子：
    3.9
  • 作者：
  • 通讯作者：
Simulation of hysteresis loops for polycrystalline ferroelectrics by an extensive Landau-type model
通过扩展朗道型模型模拟多晶铁电体的磁滞回线
  • DOI：
    10.1016/j.physleta.2009.09.050
  • 发表时间：
    2009-11
  • 期刊：
    Physics Letters A
  • 影响因子：
    2.6
  • 作者：
    R. Yimnirun;T. Sareein;傅广生;王英龙;王兴远;刘保亭;N. Wongdamnern;梁伟华;褚立志;邓泽超
  • 通讯作者：
    邓泽超
沉积温度对BiFeO3薄膜结构和性能的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    赵庆勋，魏大勇，王宽冒，马继奎，刘保亭，王英龙，“沉积温度对BiFeO3薄膜结构和性能的影响”，人工晶体学报, 39, 1396-1400 (2010).
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
  • 通讯作者：
Epitaxial SrRuO3/BiFeO3/SrRuO3 heterostructure sputtered at low temperature
低温溅射外延 SrRuO3/BiFeO3/SrRuO3 异质结构
  • DOI：
    10.1016/j.jcrysgro.2010.12.024
  • 发表时间：
    2011-02
  • 期刊：
    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH
  • 影响因子：
    1.8
  • 作者：
    Zhao, Q. X.;Ma, J. K.;Wei, D. Y.;Wang, K. M.;Li, X. H.;Zhang, X. Y.;Liu, B. T.
  • 通讯作者：
    Liu, B. T.

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其他文献

紫光对外延掺锰铁酸铋薄膜物性的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2014
  • 期刊：
    人工晶体学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    彭增伟;姜庆华;朱慧娟;王晋峰;刘保亭
  • 通讯作者：
    刘保亭
(La_(0.5)Sr_(0.5))CoO_3为电极的Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3和Pb(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3铁电电容器结构及电学性能
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
    人工晶体学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    贾冬梅;刘保亭;彭增伟;郝彦磊;朱慧娟;张宪贵
  • 通讯作者：
    张宪贵
CeO_2缓冲层对蓝宝石基Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜结构和介电性能的影响
  • DOI：
    10.14106/j.cnki.1001-2028.2017.04.005
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
    电子元件与材料
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    宋安英;宋建民;李振娜;代秀红;娄建忠;刘保亭
  • 通讯作者：
    刘保亭
氧氩混合气氛下脉冲激光沉积法制备YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的研究
  • DOI：
    10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2017.08.006
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
    人工晶体学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    代秀红;张宇生;葛大勇;娄建忠;赵红东;刘保亭
  • 通讯作者：
    刘保亭
The elimination of deviations of the mean-field Landau-type theory from the fancy size effect experiment in nanoscale ferroelectric BaTiO3 capacitors
纳米铁电BaTiO3电容器花式尺寸效应实验消除平均场Landau型理论的偏差
  • DOI：
    10.1016/j.physleta.2010.10.013
  • 发表时间：
    2010-11
  • 期刊：
    Physics Letters A
  • 影响因子：
    2.6
  • 作者：
    王英龙;王兴远;傅广生;刘洋;刘保亭
  • 通讯作者：
    刘保亭

其他文献

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刘保亭的其他基金

铁电铁磁复合薄膜的生长机理、微结构调控及物理性能
  • 批准号：
    11374086
  • 批准年份：
    2013
  • 资助金额：
    87.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目
钛酸锶钡铁电复合薄膜的生长机理、结构及性能研究
  • 批准号：
    11074063
  • 批准年份：
    2010
  • 资助金额：
    38.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目
硅基铁电存储器构架中金属间化合物导电阻挡层研究
  • 批准号：
    50572021
  • 批准年份：
    2005
  • 资助金额：
    26.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目

相似国自然基金

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相似海外基金

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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