RTCVD结合SLS技术在SiO2隔离层上高速制备大晶粒多晶硅薄膜研究

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项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    50802118
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    20.0万
  • 负责人：
    艾斌
  • 依托单位：
    中山大学
  • 学科分类：
    E0207.无机非金属半导体与信息功能材料
  • 结题年份：
    2011
  • 批准年份：
    2008
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2009-01-01 至2011-12-31

项目摘要

快速热化学气相沉积(RTCVD)在陶瓷等廉价耐高温衬底上制备多晶硅薄膜电池是一条最有可能实现产业化的薄膜电池技术。为了阻止衬底中杂质向硅活性层的扩散，需要在两者之间制备一层隔离层。因RTCVD在隔离层上沉积的多晶硅膜的晶粒尺寸太小，而无法制成性能良好的电池，人们通常使用区熔再结晶（ZMR）技术来增大晶粒尺寸。尽管RTCVD+ZMR+廉价耐高温衬底技术已制备出效率超过10%的薄膜电池，但是该技术迟迟不能产业化，其主要原因是使用了高成本、工艺复杂、难以产业化的ZMR技术。针对这一问题，本项目创新性地提出用已产业化的顺序横向固化（SLS: Sequential Lateral Solidification）技术代替ZMR技术，有选择性地晶化籽晶层的一些区域作为成核点，然后用RTCVD在其上外延硅薄膜。该技术路线有望实现RTCVD在隔离层上高速制备厚约35μm的大晶粒多晶硅薄膜的目标。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（5）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（6）
专利数量（0）
Application of phosphorus diffusion gettering process on upgraded metallurgical grade Si wafers & solar cells
磷扩散吸杂工艺在升级冶金级硅片上的应用
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
  • 通讯作者：
Growth behavior of polycrystalline silicon thin films deposited by RTCVD on quartz substrates
RTCVD 石英衬底上沉积多晶硅薄膜的生长行为
  • DOI：
    10.1007/s11434-010-3036-4
  • 发表时间：
    2010-07
  • 期刊：
    Chinese Science Bulletin
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
  • 通讯作者：
Selected area laser-crystallized polycrystalline silicon thin films by a pulsed Nd:YAG laser with 355 nm wavelength
使用 355 nm 波长的脉冲 Nd:YAG 激光进行选区激光结晶多晶硅薄膜
  • DOI：
    10.1088/1674-4926/32/12/123002
  • 发表时间：
    2011-12
  • 期刊：
    Journal of Semiconductors
  • 影响因子：
    5.1
  • 作者：
  • 通讯作者：
Observation on Defects in Poly-Si Films Prepared by RTCVD Under Nonideal Conditions
非理想条件下RTCVD制备多晶硅薄膜的缺陷观察
  • DOI：
    10.1007/s11664-010-1145-0
  • 发表时间：
    2010-03
  • 期刊：
    Journal of Electronic Materials
  • 影响因子：
    2.1
  • 作者：
  • 通讯作者：
RTCVD沉积在石英衬底上的多晶硅薄膜的生长习性
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    科学通报. 2010年第7期, 619-623
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
  • 通讯作者：

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其他文献

外延晶体硅薄膜太阳电池的量子效
  • DOI：
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  • 发表时间：
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  • 期刊：
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  • 影响因子：
    --
  • 作者：
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  • 作者：
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  • 通讯作者：
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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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