新型氟(氯)负离子储存-发射功能材料及其在半导体蚀刻中应用基础研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50772107
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:29.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E02.无机非金属材料
- 结题年份:2010
- 批准年份:2007
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2008-01-01 至2010-12-31
- 项目参与者:屠兢; 俞寿明; 王莲; 宋崇富; 王兆祥; 阚涛; 董婷; 宫璐; 叶同奇;
- 关键词:
项目摘要
氟负离子和氯负离子在半导体蚀刻、薄膜材料的制备及其改性、大气化学、生物化学和负离子质谱技术等领域具有重要的应用前景。利用负离子储存-发射材料产生气相负离子是申请人近年提出的一种产生高纯负离子的新方法,它与传统的放电和电子溅射等方法相比,具有设备简单(只需要加热和外电场)和选择性高(有选择性的储存和发射)的特点。.本课题提出以合成新型氟负离子和氯负离子储存-发射功能材料和研究材料的储存-发射机理为基本目标,通过材料制备、材料结构分析、储存特性分析、发射特性分析、连续负离子源建立等方面深入的理论和实验研究,弄清F-/Cl-负离子形成过程、负离子储存机理、负离子发射机理以及材料结构-性能之间的关系;获得产生高纯稳定的氟负离子和氯负离子的新方法。同时研究发射的F-/Cl-负离子束应用于半导体材料表面改性和蚀刻的新技术,努力取得一批具有自主知识产权的创新性成果。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(22)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(5)
Hydrogen Production from the Current-Enhanced Reforming and Decomposition of Ethanol
乙醇电流强化重整分解制氢
- DOI:10.1021/ef801131a
- 发表时间:2009-04
- 期刊:Energy & Fuels
- 影响因子:5.3
- 作者:Yamamoto, Mitsuo;Ye, Tongqi;Gong, Feiyan;Torimoto, Youshifumi;Li, Quanxin;Guo, Qingxiang;Yuan, Lixia
- 通讯作者:Yuan, Lixia
Preparation and Bactericidal Activity of C12A7-O- Nanoparticles
C12A7-O-纳米粒子的制备及其杀菌活性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Chemical Journal of Chinese Universities-Chinese
- 影响因子:1
- 作者:Gong Lu;Shen Jing;Li Quan-Xin
- 通讯作者:Li Quan-Xin
Surface modification of polystyrene with atomic oxygen radical anions-dissolved solution
原子氧自由基阴离子溶解溶液对聚苯乙烯进行表面改性
- DOI:10.1016/j.apsusc.2008.01.035
- 发表时间:2008-04
- 期刊:Applied Surface Science
- 影响因子:6.7
- 作者:Yan, Lifeng;Li, Quanxin;Zhao, Peitao;Wang, Lian;Torimoto, Yoshifumi;Sadakata, Masayoshi
- 通讯作者:Sadakata, Masayoshi
Hydrogen production by low-temperature reforming of organic compounds in bio-oil over a CNT-promoting Ni catalyst
通过碳纳米管促进镍催化剂对生物油中的有机化合物进行低温重整制氢
- DOI:10.1016/j.ijhydene.2009.09.012
- 发表时间:2009-11-01
- 期刊:INTERNATIONAL JOURNAL OF HYDROGEN ENERGY
- 影响因子:7.2
- 作者:Hou, Tao;Yuan, Lixia;Li, Quanxin
- 通讯作者:Li, Quanxin
Investigation on the Antibacterial Activity and Mechanism of C12A7-O- Particles
C12A7-O-颗粒的抗菌活性及机制研究
- DOI:10.3724/sp.j.1077.2010.00942
- 发表时间:2010-09
- 期刊:JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
- 影响因子:1.7
- 作者:Shen Jing;Li Quan-Xin;Gong Lu
- 通讯作者:Gong Lu
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