基于频闪散射照明下数字散斑技术的MEMS运动特性测试方法
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50505031
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:26.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0512.微纳机械系统
- 结题年份:2008
- 批准年份:2005
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2006-01-01 至2008-12-31
- 项目参与者:胡小唐; 栗大超; 郭彤; 陈津平; 陈治; 胡春光; 宋孝勇; 刘钢;
- 关键词:
项目摘要
项目提出一种基于频闪散射照明条件下电子散斑显微干涉与数字散斑相关技术相结合的MEMS运动特性测试新方法;研究时间相移技术应用和时间序列散斑干涉图像关联的实现算法,分别进行反射和散射表面微结构离面变形与周期运动特性的测试;研究数字散斑相关技术用于平面微位移场测量的实现方法与算法,进行三维运动特性测试中平面位移的解耦,实现平面与离面运动特性的精确测试。MEMS运动特性的测试不仅是评价其功能和性能的关键,而且在已知静态或动态载荷作用下微结构变形或运动特性可用于进行微尺度机械力学特性的分析与失效模式的理解,为MEMS可靠性研究提供技术手段。散射照明的电子散斑显微干涉可用于反射表面的测试,也避免了传统显微干涉无法应用于散射表面测试的局限性,数字散斑相关技术可同时实现平面刚性位移和变形的测量,该方法具有系统结构简单、抗干扰能力强、振动特性分析快等优点,适于MEMS工艺线的在线测试与质量检验。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(10)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(2)
基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:光学精密工程
- 影响因子:--
- 作者:胡晓东;陈治;胡小唐;傅星
- 通讯作者:傅星
Long-working-distance Linnik microscopic interferometry for measuring the surface profile of microstructures
用于测量微结构表面轮廓的长工作距离 Linnik 显微干涉仪
- DOI:10.1116/1.3046154
- 发表时间:2009-05
- 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B
- 影响因子:1.4
- 作者:Xiaodong Hu;Wenan Wang;Shujuan Deng;Xiaotang Hu
- 通讯作者:Xiaotang Hu
数字散斑相关技术在微结构平面运动测试的应用
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:纳米技术与精密工程
- 影响因子:--
- 作者:陈治;田淑英;胡小唐;胡晓东
- 通讯作者:胡晓东
基于傅里叶干涉法的微结构离面运动测量
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:光电子.激光
- 影响因子:--
- 作者:胡晓东;刘钢;胡春光;齐浩;胡小唐
- 通讯作者:胡小唐
MEMS Test System Based on Virtual Instrument Technology
基于虚拟仪器技术的MEMS测试系统
- DOI:--
- 发表时间:2007
- 期刊:天津大学学报(英文版)
- 影响因子:--
- 作者:HU Chunguang;LI Dachao;GUO Tong;HU Xiaodong;HU Xiaotang
- 通讯作者:HU Xiaotang
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- 通讯作者:沈金祥
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- 通讯作者:卢钧胜
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- 通讯作者:陈津平
其他文献
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