高电子迁移率晶体管(HEMT)材料的辐照效应研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:69576017
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:9.4万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0401.半导体材料
- 结题年份:1998
- 批准年份:1995
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1996-01-01 至1998-12-31
- 项目参与者:张一云; 吴丽萍; 白立新; 徐家云; 蒋锦江; 芦铁诚;
- 关键词:
项目摘要
三年中本课题用0.4—1.8MeV的电子束及10KeV—130KeV的质子束对AlGaAs/GaAs,AlGaAs/InGaAs,InGaAsP/InP等单量子阱或多量子阱材料以及HEMT,PHEMT,LT—HEMT结构材料进行了辐照效应的研究。测试了辐照前后及退火前后的电学,光学以及缺陷情况等特性,得到了电子束,质子束的注量阈值分别为1×10(15)/cm(2)和1×10(12)/cm(2),并给出了各种能量的粒子束的射程的计算值以及辐照缺陷类型,能级位量等等不少新结果,也用Y2O3—ZrO2膜作了核加固尝试。可提高抗电子辐照在注量方面约一个量级。这些都为HEMT等材料在核环境及空间技术的应用方面提供了一些重要数据。
结项摘要
项目成果
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