硅基薄膜热线型气体传感嚣及其表面修饰
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:69774027
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:12.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0306.自动化检测技术与装置
- 结题年份:2000
- 批准年份:1997
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1998-01-01 至2000-12-31
- 项目参与者:吴家琨; 张彤; 全海英; 邱法斌; 王哲; 陈丽华;
- 关键词:
项目摘要
研究了以Si为衬底采用RF方法在其上溅射铂膜电极的工艺条件,如Ar压力、淀积温度、淀积速率及热处理温度对铂电极质量的影响。分析了平面热线型气体传感器的结构特点。为制备器件要求的低阻SnO2、In2O3薄膜敏感材料,采用SoL-Gel等方法在制备凝胶过程中采用液相分别掺Sb(3+)和掺Sn(4+)及真空或适当气氛中热处理的方法,制得低阻SnO2、In2O3敏感层材料。为改善气体传感器的特性,进行了催化剂的选择及表面修饰改性的研究。发现在SnO2中加入Pt2wt%、Au5.4at%可提高对NH3的灵敏度,以1.5wt%的NH4VO3溶液为修饰液,可使NH3传感器的选择性提高。加PdCl21%并以分子筛为隔离层可制作高选择性的CH4气体传感器。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(8)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
平面直热式气敏元件及其表面修饰
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:传感器技术
- 影响因子:--
- 作者:全宝富;全海英
- 通讯作者:全海英
硅基热线式气敏元件及其特性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:传感技术学报
- 影响因子:--
- 作者:全宝富;金丽妍
- 通讯作者:金丽妍
Investigation of a new catalytic combustion-type CH4 gas sensor with low power consumption
新型低功耗催化燃烧式CH4气体传感器的研究
- DOI:10.1016/s0925-4005(00)00527-x
- 发表时间:2000-07-25
- 期刊:SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL
- 影响因子:8.4
- 作者:Sun, LY;Qiu, FB;Quan, BF
- 通讯作者:Quan, BF
NASICON材料制备及气敏特性研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:功能材料
- 影响因子:--
- 作者:戚金清;邱法斌
- 通讯作者:邱法斌
低阻SnO2微粉的制备及其气敏特性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:功能材料
- 影响因子:--
- 作者:全宝富;金丽妍
- 通讯作者:金丽妍
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其他文献
BaTiO_3对SnO_2基CO气敏元件性能影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:传感器技术
- 影响因子:--
- 作者:刘凤敏;全宝富;陈丽华;刘奎学
- 通讯作者:刘奎学
Preparation, Characterization and Thermal Stability of the Solid Solution Sn0.5Ti0.5O2 prepared by sol-gel method
溶胶-凝胶法固溶体Sn0.5Ti0.5O2的制备、表征及热稳定性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Chemical journal of Chinese University
- 影响因子:--
- 作者:刘凤敏;全宝富;陈丽华;刘志强;于连香;刘奎学
- 通讯作者:刘奎学
La_(0.7)Sr_(0.3)FeO_3对SnO_2基CO气敏元件性能的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:电子材料与元件
- 影响因子:--
- 作者:刘志强;全宝富;刘凤敏;陈丽华;丁虹
- 通讯作者:丁虹
Preparation and characterization of NASICON with a new sol–gel process
采用新型溶胶凝胶工艺制备 NASICON 并表征
- DOI:10.1016/s0167-577x(03)00450-6
- 发表时间:2004
- 期刊:Materials Letters
- 影响因子:3
- 作者:张爽;全宝富;赵志勇;赵本刚;何月华;陈维友
- 通讯作者:陈维友
SnO_2基CO气敏材料的制备与掺杂研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:电子材料与元件,
- 影响因子:--
- 作者:刘凤敏;全宝富;于连香;陈丽华;刘志强
- 通讯作者:刘志强
其他文献
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