高电荷稳定性Si3N4/SiO2双层驻极膜性能和储电机制研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:59682003
- 项目类别:专项基金项目
- 资助金额:12.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0206.功能陶瓷
- 结题年份:1999
- 批准年份:1996
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1997-01-01 至1999-12-31
- 项目参与者:张红焰; 林华茂; 吕美安; 曹阳; 朱建伟;
- 关键词:
项目摘要
结项摘要
项目成果
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