基于聚合物MEMS微针与微流体技术的集成微系统研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50775149
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:28.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0512.微纳机械系统
- 结题年份:2010
- 批准年份:2007
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2008-01-01 至2010-12-31
- 项目参与者:赵小林; 陈翔; 毛海平; 黄闯; 汪鹏; 刘舒维;
- 关键词:
项目摘要
微流体与微针技术的集成将为生物信号的分析、药物注射、微量样本分析、疾病检测等众多领域提供新的技术手段,具有广阔的应用前景。该系统构造上存在的主要问题在于:1、现有的微针制备方法存在工序复杂、制造难度大、微针倾斜角度不足或倾斜角不可变化的问题。2、迫切需要探索应用安全的、生物兼容性好,制备成本低的聚合物材料微针。为了解决上述问题,本项目提出了背面夹缝曝光新思路,开发微针制备新技术,并通过与微流体芯片的键合集成构建聚合物微流体系统。本项目将按照上述思想开展系统性基础研究,研究内容包括:背面夹缝曝光技术机理研究,集成微流体系统的力学与流体理论研究,微针结构设计,微加工工艺与系统集成制造技术研究,器件性能测试等,探索新加工方法的可行性,研制原型系统,评价系统性能。一旦获得成功,不但意味着一种新型三维微加工技术以及集成微系统的诞生,而且有利于我国MEMS行业技术进步,加快产业化的进程。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(7)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(2)
专利数量(0)
Design and fabrication of a micromachined bilayercantilever probe card
微机械双层悬臂探针卡的设计与制作
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
倾斜旋转紫外曝光在微针制备上的应用
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:上海交通大学学报,Vol.44, No.8(EI收录)
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
Fabrication Multi-layer Polymer Microstructures by X-ray Lithography with Alignment
通过 X 射线光刻与对准制造多层聚合物微结构
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
Evaluation of properties of lapped PZT ceramics and silicon cantilever based on eutectic bonding and dicing process
基于共晶键合和切割工艺的研磨 PZT 陶瓷和硅悬臂梁的性能评估
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
A novel method for improving the adhesion strength of the electrodeposited Ni?lms in MEMS
一种提高 MEMS 中电沉积镍薄膜粘附强度的新方法
- DOI:--
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- 作者:
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