大直径硅晶体低损伤精密切片新技术及机理研究

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    50475132
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    26.0万
  • 负责人：
    葛培琪
  • 依托单位：
    山东大学
  • 学科分类：
    E0509.加工制造
  • 结题年份：
    2007
  • 批准年份：
    2004
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2005-01-01 至2007-12-31

项目摘要

IC制造业即将全面采用300mm以上的大直径硅片，而硅晶体切片是芯片制造中必不可少的工艺。本项目针对大直径硅晶体切片技术中目前存在的问题，提出环形电镀金刚石线锯高速精密低损伤切片新技术；研制环形电镀金刚石锯丝及锯切工艺系统，建立环形电镀金刚石线锯切割硅晶体的综合理论模型，揭示金刚石线锯对硅晶体切片的切屑形成和材料去除机理；分析工艺参数对硅晶体切片的面形精度和表面层质量的影响规律，建立电镀金刚石线锯对硅晶体高效精密切片工艺的应用基础理论，实现无损伤或低损伤高速切片新工艺；通过理论与实验研究，建立高效精密切片技术装备原型机及优化的工艺参数，为高效、低成本、高质量、高出品率的大直径硅晶体精密切片提供具有自主知识产权的理论与应用技术。同时，本项目的研究结果还可以推广到所有贵重硬脆材料的切割加工，因此具有十分广阔的应用前景。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（17）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（1）
专利数量（0）
单晶硅自由磨料线锯切片过程中的
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    润滑与密封，2006(10)：81－83
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    桑波;葛培琪;侯志坚;高玉飞
  • 通讯作者：
    高玉飞
Research on monocrystalline si
单晶硅研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Peiqi Ge, Jianfeng Meng;Zh
  • 通讯作者：
    Zh
非导电硬脆材料线切割锯床的研制
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    组合机床与自动化加工技术，2006(3)：75-77
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    侯志坚;葛培琪;高玉飞;桑波
  • 通讯作者：
    桑波
Research on endless wire saw c
无端绳锯机的研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Meng, J.F., Li, J.F., Ge, P.Q.
  • 通讯作者：
    Meng, J.F., Li, J.F., Ge, P.Q.
The surface quality of monocry
单晶表面质量
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    J.F.Meng, P.Q.Ge, J.F.Li
  • 通讯作者：
    J.F.Meng, P.Q.Ge, J.F.Li

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其他文献

基于固结磨料线锯的脆性晶体加工材料去除机理研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
    中国科技论文在线
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    高玉飞;葛培琪;毕文波
  • 通讯作者：
    毕文波
管程流体诱导锥螺旋管束振动的实验研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
    节能技术
  • 影响因子：
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  • 作者：
    王安民;葛培琪;季家东;段德荣
  • 通讯作者：
    段德荣
换热器内弹性管束流体组合诱导振动响应的数值分析
  • DOI：
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  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
    西安交通大学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    季家东;葛培琪;毕文波
  • 通讯作者：
    毕文波
管内流体诱导锥螺旋弹性管束振动分析
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
    自动化仪表
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    王安民;葛培琪;段德荣
  • 通讯作者：
    段德荣
磨粒刻划单晶SiC的SPH与FEM耦合仿真分析
  • DOI：
    10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.12.004
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
    表面技术
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    李龙;葛培琪
  • 通讯作者：
    葛培琪

其他文献

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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