Developpement et optimisation de reacteurs hybrides ablation par laser pulsé/pulvérisation cathodique pour l'élaboration de couches minces
激光脉冲混合烧蚀/阴极粉碎反应器的开发和优化
基本信息
- 批准号：469027-2014
- 负责人：
- 金额：$ 2.19万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Industrial R&D Fellowships (IRDF)
- 财政年份：2016
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2016-01-01 至 2017-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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